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Elektronikproduktion | 30 Mai 2011

Millionenumsatz im Mai für den Halbleiterbereich von Carl Zeiss

Carl Zeiss hat im Mai mehrere GroßgerĂ€te zur Analyse und Reparatur von Photomasken in die USA und nach Taiwan ausliefern können.
"Die Lieferungen bestĂ€tigen den positiven Trend in der Halbleiterindustrie und in unserem Bereich Semiconductor Metrology Systems bei Carl Zeiss. Wir freuen uns ĂŒber volle AuftragsbĂŒcher", sagt Dr. Oliver Kienzle, GeschĂ€ftsfĂŒhrer der Carl Zeiss SMS GmbH. In die USA wurde ein System MeRiT HR 32 geliefert, das fĂŒr die hochgenaue Reparatur von Photomasken eingesetzt wird. Nach Taiwan ging ein System PROVE, das die Positionsgenauig- keit der Maskenstrukturen im Sub-Nanometer- bereich misst. Ein GerĂ€t CDC32 zur Verbesse- rung der Genauigkeit von Linienbreiten auf Photomasken wurde außerdem direkt in eine sogenannte "Wafer Fab", eine ProduktionsstĂ€tte fĂŒr Speicherchips, geliefert. WĂ€hrend Masken- hĂ€user die Hauptkunden der Carl Zeiss SMS GmbH sind, ist der Eintritt in den Wafer Fab Markt neu. "Der aktuelle Verkauf eines GerĂ€ts in eine Wafer Fab in den USA bestĂ€tigt unsere Strategie. Diese neue Ausrichtung wird uns in nĂ€chster Zeit weiteren, zusĂ€tzlichen Aufschwung bringen", kommentiert Kienzle weiter.
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