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Elektronikproduktion | 30 Juli 2010

Meijo University bestellt Aixtron Maschinen

Die japanische Meijo University Nagoya erhÀlt eine Close Coupled Showerhead MOCVD-Anlage zur LED-Produktion auf Basis von GaN (Gallium-Nitrid).
Der Auftrag erfolgte in der ersten JahreshĂ€lfte, die Anlage wird im 4Q/2010 in einer Waferkonfiguration von 3x2 Zoll ausgeliefert und vom Aixtron Team vor Ort in Betrieb genommen. Teil der Bestellung sind die In-Situ-MessgerĂ€te EpiCurveTT und Aixtron ARGUS. Letzteres ist ein neuartiges Multi-Channel-Pyrometer und erlaubt eine Messung und Analyse der OberflĂ€chentemperatur im Reaktor in Echtzeit. Argus ist das weltweit einzige thermische Messinstrument ĂŒberhaupt, das eine vollstĂ€ndige ortsaufgelöste Auswertung der Suszeptortemperatur erlaubt. Dr. Motoaki Iwaya, Außerordentlicher Professor der UniversitĂ€t, berichtet: „Die Meijo University möchte im „LED Cooperative Research Center“ weiße und ultraviolette LEDs erforschen. Das Augenmerk liegt dabei auf Beleuchtung sowie auf bakteriziden Lichtquellen mit hoher Energieeffizienz, hohen Farbwiedergabewerten, langer Lebensdauer und geringen Kosten. Das Zentrum wurde als fortschrittliches Forschungsinstitut ausgezeichnet und wird vom Ministerium fĂŒr Wirtschaft, Handel und Industrie (METI) finanziert. Mehrere Kooperationspartner teilen sich die RĂ€umlichkeiten. Das Forschungsprojekt zur nĂ€chsten Generation weißer LEDs wird vom Partner EL-SEED Corp. geleitet, einem Start-up-Unternehmen der Meijo University – mit UnterstĂŒtzung durch die Organisation „New Energy and Industrial Technology Development (NEDO)“, die ebenfalls dort ansĂ€ssig ist. Mit unserer bestehenden Anlage, einer AIX200/4 RF-S, sind wir sehr zufrieden. Außerdem haben Aixtrons bewĂ€hrte R&D Showerhead-Systeme in der Vergangenheit gezeigt, dass sie beste Skalierbarkeit und einfachen Prozesstransfer auf Showerhead-Produktionsanlagen gewĂ€hrleisten. Die 3x2-Zoll-Anlage erlaubt uns, flexibel und ohne grĂ¶ĂŸere Umstellungen in den Prozessparametern zwischen 2-, 3- und 4-Zoll-Wafern zu wechseln. Alles in allem sind wir der Meinung, dass die Aixtron MOCVD-Anlage die richtige Wahl fĂŒr die anspruchsvolle Aufgabe zur LED-Entwicklung auf Basis von GaN ist.” Die Abteilung „Materials Science and Engineering“ der Meijo University gehört zu Japans renommiertesten FakultĂ€ten. Ihre aktuellen Forschungsziele beinhalten neben Nanotechnologie auch Halbleitermaterialien. Sie gewann bereits zahlreiche Ausschreibungen des Ministeriums fĂŒr Erziehung, Kultur, Sport, Wissenschaft und Technologie (MEXT), des METI und des NEDO. Zu ihren Spitzenforschern gehört Prof. Akasaki, der bei der Entwicklung von blauen LEDs und blau-violetten Halbleiterlasern eine maßgebliche Rolle gespielt hat. ----- MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung
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