Meijo University bestellt Aixtron Maschinen

Der Auftrag erfolgte in der ersten Jahreshälfte, die Anlage wird im 4Q/2010 in einer Waferkonfiguration von 3x2 Zoll ausgeliefert und vom Aixtron Team vor Ort in Betrieb genommen. Teil der Bestellung sind die In-Situ-Messgeräte EpiCurveTT und Aixtron ARGUS. Letzteres ist ein neuartiges Multi-Channel-Pyrometer und erlaubt eine Messung und Analyse der Oberflächentemperatur im Reaktor in Echtzeit. Argus ist das weltweit einzige thermische Messinstrument überhaupt, das eine vollständige ortsaufgelöste Auswertung der Suszeptortemperatur erlaubt. Dr. Motoaki Iwaya, Außerordentlicher Professor der Universität, berichtet: „Die Meijo University möchte im „LED Cooperative Research Center“ weiße und ultraviolette LEDs erforschen. Das Augenmerk liegt dabei auf Beleuchtung sowie auf bakteriziden Lichtquellen mit hoher Energieeffizienz, hohen Farbwiedergabewerten, langer Lebensdauer und geringen Kosten. Das Zentrum wurde als fortschrittliches Forschungsinstitut ausgezeichnet und wird vom Ministerium für Wirtschaft, Handel und Industrie (METI) finanziert. Mehrere Kooperationspartner teilen sich die Räumlichkeiten. Das Forschungsprojekt zur nächsten Generation weißer LEDs wird vom Partner EL-SEED Corp. geleitet, einem Start-up-Unternehmen der Meijo University – mit Unterstützung durch die Organisation „New Energy and Industrial Technology Development (NEDO)“, die ebenfalls dort ansässig ist. Mit unserer bestehenden Anlage, einer AIX200/4 RF-S, sind wir sehr zufrieden. Außerdem haben Aixtrons bewährte R&D Showerhead-Systeme in der Vergangenheit gezeigt, dass sie beste Skalierbarkeit und einfachen Prozesstransfer auf Showerhead-Produktionsanlagen gewährleisten. Die 3x2-Zoll-Anlage erlaubt uns, flexibel und ohne größere Umstellungen in den Prozessparametern zwischen 2-, 3- und 4-Zoll-Wafern zu wechseln. Alles in allem sind wir der Meinung, dass die Aixtron MOCVD-Anlage die richtige Wahl für die anspruchsvolle Aufgabe zur LED-Entwicklung auf Basis von GaN ist.” Die Abteilung „Materials Science and Engineering“ der Meijo University gehört zu Japans renommiertesten Fakultäten. Ihre aktuellen Forschungsziele beinhalten neben Nanotechnologie auch Halbleitermaterialien. Sie gewann bereits zahlreiche Ausschreibungen des Ministeriums für Erziehung, Kultur, Sport, Wissenschaft und Technologie (MEXT), des METI und des NEDO. Zu ihren Spitzenforschern gehört Prof. Akasaki, der bei der Entwicklung von blauen LEDs und blau-violetten Halbleiterlasern eine maßgebliche Rolle gespielt hat. ----- MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung