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Elektronikproduktion | 24 Juni 2010

Uni Duisburg-Essen investiert in Aixtron MOCVD-Anlage

Die Universität Duisburg-Essen hat im 4Q/2009 eine neue CRIUS-Depositionsanlage erworben. Die mit einem ARGUS-Pyrometersystem ausgestattete 3x2-Zoll-Anlage wird im 2Q/2010 ausgeliefert

Professor Dr. rer. nat. Franz-Josef Tegude leitet das Zentrum für Halbleitertechnik in Duisburg: „Der Erwerb der Aixtron Close Coupled Showerhead-Anlage (CCS) ist Teil unserer Initiative im Bereich nitridbasierender Halbleiter-Nanodrähte – aktuell mit dem Projekt zur innovativen Energieversorgung `NaSoL´. Als einer der ersten Aixtron Kunden sind wir von der ausgezeichneten Prozesstechnologie und dem erstklassigem Kundenservice überzeugt. Insbesondere die Flexibilität der CRIUS unter den Gesichtspunkten Homogenität und Reproduzierbarkeit der Abscheidung ist äußerst beeindruckend. All dies ist in die Entscheidung für eine Projektpartnerschaft eingeflossen.“ `NaSoL´ zielt auf die Herstellung GaN- sowie (Al, Ga,In)N-basierender Halbleiter-Nanodrähte für effizientere Solarzellen und Leuchtdioden. Die CCS-Technologie stellt dabei die solide Grundlage für einen schnellen und erfolgreichen Projektverlauf. Im NaSoL-Projekt kooperieren Aixtron und die Universität Duisburg-Essen mit dem Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik (ZHO) sowie dem Fachgebiet Werkstoffe der Elektrotechnik. Das Projekt wurde im 3Q/2009 durch das Land Nordrhein-Westfalen im Rahmen des Landeswettbewerbs "NanoMikro+Werkstoffe.NRW" bewilligt.
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