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Elektronikproduktion | 15 Juni 2010

Aixtron liefert QXP 8300 ALD-Anlage nach Korea

Die Aixtron AG hat eine QXP 8300 ALD-Anlage an einen großen koreanischen DRAM-Hersteller ausgeliefert. Die Inbetriebnahme der Anlage beim Kunden wird bis zum Ende des 2Q/2010 erfolgen.

"Die QXP 8300 wird unseren Produktionstechnologien der nächsten Generation enorme Schubkraft verleihen" versichert Dr. Sasangan Ramanathan, technischer Leiter bei Aixtron Inc. "Die Bestellung aus Korea ist insofern bemerkenswert, als dass dieser führende Hersteller weithin für seine Fähigkeit bekannt ist, sowohl Technologien nach vorne zu bringen als auch Produktionsgrenzen nach oben zu verschieben. Dass die Aixtron Anlage im Wettbewerb jetzt die Nase vorn hat, beweist, dass die QXP 8300 in beiden Bereichen den gewünschten Wertbeitrag liefert." Dr. Bernd Schulte, COO Aixtron, bewertet die Bestellung „als den nächsten wichtigen Meilenstein für die QXP 8300 und folglich auch für die steigende Verbreitung unserer ALD-Technologie." Das weltweite steigende Interesse an dieser Anlage, insbesondere an der patentgeschützten Technologie des Transports von Quellenmaterialien, zeige, so Dr. Schulte weiter, "dass die Branche 2010 wieder an Dynamik gewinnt und Kunden ihr Wachstum auf innovative, produktionserprobte und wirtschaftliche Technologie gründen. Dies ist womöglich in keinem anderen Bereich entscheidender als bei der Abscheidung von high-k- und Metallfilmen der nächsten Generation – wir freuen uns, Lösungsanbieter für diese Herausforderung zu sein." ----- Dynamic Random Access Memory = Dynamisches RAM, eine Technologie für einen elektronischen Speicherbaustein mit wahlfreiem Zugriff High-k-Schichten = Halbleiterschichten mit höherer dielektrischer Konstante (k)
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