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Fertigungsanlagen | 29 März 2006

Carl Zeiss, SII koopieren

Carl Zeiss NTS und SII NanoTechnology kooperieren bei Nanotechnologie.

Carl Zeiss Nano Technology Systems (NTS) und die japanische SII NanoTechnology (SIINT), ein Tochterunternehmen von Seiko Instruments, arbeiten künftig bei Vertrieb, Service und Applikationsunterstützung für elektronen- und ionenstrahl-basierenden Abbildungs- und Analysesystemen zusammen. Darüber hinaus sollen gemeinsam auch Lösungen für die Nanotechnologie entwickelt werden, speziell zur Prozesskontrolle in der Halbleiterfertigung.
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