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Sematech und SÜSS MicroTec kooperieren
SUSS MicroTec wird ab sofort am Sematech-Programm für Frontend-Prozesse (FEP) beteiligt. Als Mitglied der Arbeitsgemeinschaft wird SÜSS MicroTec gemeinsam mit den FEP-Experten von Sematech neue komplexe Prüf- und -Messlösungen für Halbleiter- und Zukunftstechnologien untersuchen.
Um Fortschritte bei konventionellen und neuen Halbleiterbauteilen zu erzielen, erforscht das FEP-Programm von Sematech innovative neue Materialien und Bauteilstrukturen. Die Zusammenarbeit zwischen SÜSS MicroTec und den Forschungsteams von Sematech FEP zielt auf die Entwicklung neuer Charakterisierungstechniken ab, um sowohl die CMOS-Skalierung als auch über CMOS hinausgehende Zukunftstechnologien zu unterstützen. Zusätzlich umfasst das gemeinsame Projekt auch die Forschung an Charakterisierungsmethoden für neuartige Speicher- und MEMS/NEMS-Technologien. Sematech verwendet dabei sowohl das Prüfsystem von SÜSS MicroTec als auch deren Steuerungssoftware bei der Charakterisierung neuer Bauteile, Prozesse und Designs.
