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Centro Nacional de Microelectrónica setzt auf Aixtron
Das Forschungsinstitut Centro Nacional de Microelectrónica (CNM), mit Sitz in Barcelona, hat im 3Q/2009 eine Black Magic CNT-Anlage in einer 4-Zoll-Konfiguration bestellt. Die Anlage wird im 4Q/2009 ausgeliefert.
Das CNM wird die Black Magic-Anlage zur Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren (CNTs) einsetzen, um damit Bio- und Gas-Sensoren, nano-elektromechanische Bauelemente, Feldeffekttransistoren, Rasterkraftmiskroskop-Sonden, energieerzeugende Baulemente, Verbindungsmaterialien mit niedrigem elektrischen Widerstand sowie Wärmeleitmaterialien weiterzuentwickeln.
Die Black Magic-Anlage wird unsere moderne Ausstattung der Mikro-Nanotechnologie komplettieren: Auf einer 2.500 m2 großen Reinraumfläche sind Anlagen für Elektronenstrahl-, Nano-Imprint- und sog. FIB-Lithographie, Rasterkraftmikroskopie, Öfen zur chemischen Gasphasenabscheidung sowie eine komplette Standard-CMOS-Linie untergebracht. Hier werden zukunftsfähige Mikro- und Nano-Bauelemente für die Biomedizin und Umwelttechnik sowie für die Branchen Nahrungsmittel, Sicherheit, Energie und Transport entwickelt."
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CNT, Carbon Nanotubes = Kohlenstoffnanoröhren
