Nagoya Institute of Technology investiert in Aixtron

Die Anlage in einer 2 Zoll-Waferkonfiguration wurde im ersten Quartal 2009 bestellt und ausgeliefert. Sie wird im Laufe des zweiten Quartals 2009 vom Aixtron-Team vor Ort installiert und in Betrieb genommen. Black Magic II kombiniert thermische mit plasmagestützter Gasphasenabscheidung und wird zur Abscheidung von Kohlenstoffnanoröhren (CNT) bei der Entwicklung von Technologien für mikroelektronische Anwendungen eingesetzt. Dazu gehören etwa Anwendungen im Bereich Integrierter Schaltungen, neuartiger Kühlelemente, Feldeffekttransistoren (FETs), biologischer Sensoren und anderer nanotechnologischer Komponenten. Associate Prof. Yasuhiko Hayashi vom Nagoya Institute of Technology merkt an: „Nach unserer Einschätzung entspricht die Aixtron Black Magic II CNT-Anlage exakt unseren Anforderungen. Das Forschungsprogramm für wärmesenkende Verbindungstechnik, elektronische Komponenten und Sensor-Anwendungen erfordert wohldefiniertes vertikal und seitlich ausgerichtetes Materialwachstum, um in ausgewählten Bereichen CNTs mit einer hohen Wachstumsrate zu produzieren. Ich bin sicher, dass wir mit Hilfe der Anlage sehr rasch und effizient brauchbare Strukturen herstellen können.” Aixtrons Black Magic II-Anlage basiert auf thermischer Gasphasenabscheidung mit hoher Heizrate und einer Plasmatechnologie, die sich bereits seit 2005 in der Praxis bewährt. Mit dieser Anlage sind Kunden in der Lage, eine große Bandbreite an Kohlenstoffnanoröhren zu produzieren, inklusive Niedertemperatur-, Multiwall-, Singlewall- und so genannter „Supergrowth“-Kohlenstoffnanoröhren. Die Anlage wurde sowohl für den Einsatz im Labor als auch für die Produktion konstruiert. ----- CVD, Chemical Vapor Deposition = Gasphasenabscheidung CNT, Carbon Nanotubes = Kohlenstoffnanoröhren