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Elektronikproduktion | 15 September 2008

El-Mul produziert auf Aixtron Black Magic-Anlage

El-Mul Technologies, Israel entwickelt sein innovatives E-Beam On-a-Chip-Verfahren mit Hilfe einer vollautomatischen Black Magic-Anlage von Aixtron weiter.
Die Anlage, die mit Hilfe thermischer und plasmagestĂŒtzter chemischer Gasphasenabscheidung (PECVD) vertikal orientierte Kohlenstoff-Nanoröhren (CNT) produziert, erfĂŒllt die besonderen Anforderungen dieses Produktes bezĂŒglich der prĂ€zisen Anordnung und der reproduzierbaren Herstellung der Nanoröhren. Die jĂŒngst erreichte Pilot-Produktionsreife der E-Beam On-a-Chip-Technologie ist fĂŒr El Mul ein entscheidender Schritt hin zur industriellen Fertigung von CNT-basierten Elektronenstrahlquellen. E-Beam On-a-Chip nutzt die einzigartigen elektrischen und mechanischen Eigenschaften von CNTs, um hochwertige Feldemissions-Elektronquellen zu produzieren. El-Muls Technologie erzeugt niederenergetische Elektronenstrahlen, die als wohldefinierte Feinstrahlen oder als ausgedehntere Strahlen von hoher IntensitĂ€t Anwendung finden. Sie soll in der Elektronenmikroskopie, der Gasionisation, bei RöntgengerĂ€ten, Flachbildschirmen und in der sub-40nm-Halbleitertechnologie neue Anwendungsbereiche erschließen. Bislang wurden Elektronenstrahlquellen einzeln hergestellt und komplett manuell gefertigt. Wie der Name schon sagt, nutzt El-Muls E-Beam On-a-Chip-Technologie mikroelektronisch-kompatible Prozesse, um Elektronenstrahlquellen auf Halbleiterwafern in Serie zu produzieren. Zu den Vorteilen des Verfahrens gehört die zeitgleiche Herstellung von mehreren Bauteilen, gute Skalierbarkeit und die geringe GrĂ¶ĂŸe, sowie MikroprĂ€zision in der Produktion, durch die Justierungsprobleme beseitigt werden. ----------- PECVD, Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition = plasmagestĂŒtzte Gasphasenabscheidung CNT, Carbon Nanotubes = Kohlenstoffnanoröhren
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2019.02.15 09:57 V12.1.1-1