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Fertigungsanlagen | 09 Juli 2008

Eco-Snow CO2-Systeme bei zwei US MEMS-Herstellern installiert

Eco-Snow-Systems, eine Tochtergesellschaft der Linde-Gruppe, hat eine automatisierte Reinigungstechnologie f√ľr die MEMS-Industrie entwickelt, welche die M√§ngelrate verringern und die Ger√§tezuverl√§ssigkeit erh√∂hen soll.
Zwei - namentlich nicht genannte - US-amerikanische MEMS-Hersteller haben das neue Eco-Snow VersaClean System als auch das WaferClean System installiert. Reinigung ist ein wichtiger Prozess f√ľr MEMS-Anwendungen, um ein Ger√§teversagen auf Grund von Fremdmaterial zu verhindern. Kleinstpartikel in MEMS-Ger√§ten oder innerhalb der Schutzverpackung k√∂nnen zur R√ľckweisung der Ger√§te f√ľhren. Im Vergleich mit der herk√∂mmlichen Nass-Reinigung ist der Eco-Snow Prozess kosteng√ľnstig und zudem umweltfreundlicher, da CO2 einen geringeren Treibhausschaden verursacht als die herk√∂mmlichen L√∂sungsmittel. Image Source: Eco-Snow Systems
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