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Fertigungsanlagen | 09 Juli 2008

Eco-Snow CO2-Systeme bei zwei US MEMS-Herstellern installiert

Eco-Snow-Systems, eine Tochtergesellschaft der Linde-Gruppe, hat eine automatisierte Reinigungstechnologie für die MEMS-Industrie entwickelt, welche die Mängelrate verringern und die Gerätezuverlässigkeit erhöhen soll.

Zwei - namentlich nicht genannte - US-amerikanische MEMS-Hersteller haben das neue Eco-Snow VersaClean System als auch das WaferClean System installiert. Reinigung ist ein wichtiger Prozess für MEMS-Anwendungen, um ein Geräteversagen auf Grund von Fremdmaterial zu verhindern. Kleinstpartikel in MEMS-Geräten oder innerhalb der Schutzverpackung können zur Rückweisung der Geräte führen. Im Vergleich mit der herkömmlichen Nass-Reinigung ist der Eco-Snow Prozess kostengünstig und zudem umweltfreundlicher, da CO2 einen geringeren Treibhausschaden verursacht als die herkömmlichen Lösungsmittel. Image Source: Eco-Snow Systems
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