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Fertigungsanlagen | 21 November 2007

AIXTRON liefert Anlage für LED-Produktion nach Taiwan

Die AIXTRON AG hat die erste Bestellung fĂŒr die neue AIX 2800G4-R MOCVD-Anlage von Arima Optoelectronics in Taiwan erhalten. Das System wird in Arimas modernem Reinraum in Taoyuan, Taiwan installiert.
Dort wird es fĂŒr die Produktion roter, orangefarbener und gelber LEDs, die auf AlGaInP-Materialien basieren, qualifiziert und verwendet werden. Der neueste Anlagentyp AIX 2800G4-R ist fĂŒr einen höchstmöglichen Durchsatz bei der Massenproduktion von Bauelementen auf AlGaInP-Basis ausgelegt. Das System ist mit einem Roboter ausgestattet, der die Beschichtungskammer mit 60x2 Zoll- oder 15x4 Zoll-Wafern automatisch be- und entlĂ€dt, um den grĂ¶ĂŸten Durchsatz bei geringsten Kosten pro Wafer zu erzielen. ZusĂ€tzlich weist diese Anlage weitere innovative Neuerungen auf, um den Durchsatz und die Betriebsdauer zu erhöhen. Damit wird sie einen neuen Standard fĂŒr die AlGaInP-LED-Produktion setzen.
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