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Fertigungsanlagen | 27 September 2007

Aixtron erhält Auftrag von NTT Photonics

Die Aixtron AG hat im zweiten Quartal 2007 eine Bestellung ĂŒber eine Close Coupled Showerhead-Anlage von NTT Photonics Laboratories in Japan erhalten. Damit will das Institut auf Indiumphosphid (InP) basierende optische und mikroelektronische Bauelemente herstellen
„Wir kennen Aixtrons MOCVD-Anlagen und schĂ€tzen die QualitĂ€t des Services. Die Anlagen bieten fĂŒr die Forschung und Entwicklung die besten Voraussetzungen.“, erklĂ€rt Dr. Hiroaki Takeuchi, Executive Manager des NTT Labors fĂŒr Opto-Elektronik. „Mit der bestehenden CCS-Anlage, mit der wir elektronische Bauelemente auf Galliumnitridbasis (GaN) entwickeln, sind wir sehr zufrieden. Die Close Coupled Showerhead-Anlagen sind sowohl in Japan als auch weltweit fĂŒr ihre ZuverlĂ€ssigkeit bekannt. Deshalb sind wir ĂŒberzeugt, dass diese Anlage unseren Anforderungen gerecht wird. Im Gegensatz zu anderen vertikalen Systemen zeichnet sich diese Anlage durch ihre ProzessstabilitĂ€t und effiziente Ausnutzung der Ausgangsmaterialen aus.“, so Takeuchi weiter.
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