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STMicroelectronics richtet erstes „Lab-in-Fab“ für piezoelektrischer MEMS-Bauelemente ein
STMicroelectronics hat eine Zusammenarbeit mit dem zu A*STAR gehörenden IME, einem in Singapur ansässigen Forschungsinstitut, und ULVAC, einem führenden japanischen Hersteller von Fertigungswerkzeugen bekannt gegeben. Dabei geht es um die gemeinsame Errichtung und den Betrieb einer auf Piezo-MEMS-Technologie spezialisierten 8-Zoll-F&E-Linie (200 mm) in der bestehenden Fertigungsstätte von ST in Singapur.
Diese „Lab-in-Fab“ F&E-Linie ist weltweit die erste ihrer Art und vereint drei Partner, die zur Spitzenklasse zählende, komplementäre Kompetenzen auf dem Gebiet der Piezo-Werkstoffe, der Piezo-MEMS-Technologien und der Waferfertigungs-Werkzeuge mitbringen, um die Innovation anzukurbeln und die Entwicklung von neuen Werkstoffen, Prozesstechnologien und letztlich auch Produkten für Industriekunden zu beschleunigen.
Die Lab-in-Fab-Einrichtung besteht aus einem neuen Reinraum-Bereich innerhalb des Ang Mo Kio Campus von ST und wird Tools und spezialisierte Ressourcen der drei beteiligten Partner beherbergen, darunter auch Wissenschaftler und Ingenieure im Bereich der MEMS-Forschung und -Entwicklung sowie die eigentlichen Fertigungsprozesse.
„Wir möchten mit dem IME und ULVAC, mit denen wir bereits seit längerer Zeit kooperieren, das weltweit führende Forschungs- und Entwicklungszentrum für Piezo-MEMS-Materialien, -Technologien und -Produkte errichten. Diese weltweit erste Einrichtung ihrer Art wird in unserem Werk Singapur und damit an einem strategischen Standort von ST, angesiedelt sein“, erklärt Benedetto Vigna, President der Analog, MEMS and Sensors Group von STMicroelectronics.
„Die öffentlich-private Partnerschaft zwischen IME, ST und ULVAC hat zur Schaffung einer einzigartigen F&E-Linie geführt, die unter Verwendung von Piezo-Werkstoffen neuartige Produkte hervorbringen und die Wettbewerbsfähigkeit unserer Partner verbessern wird. Diese Maßnahmen werden dazu beitragen, weiterhin hochkarätige F&E-Aktivitäten in Singapur anzusiedeln und außerdem demonstrieren, dass Singapur auch in Zukunft ein attraktives Umfeld bleiben wird, in dem Branchenführer Innovationen hervorbringen und geschäftlich expandieren können“, ergänzt Prof. Dim-Lee Kwong, Executive Director des IME.
„Wir sind stolz darauf, als „Lab-in-Fab“-Partner von ST und IME bei der Entwicklung fortschrittlicher Piezo-MEMS-Bauelemente für zahlreiche vielversprechende Anwendungen der Zukunft dabei zu sein, zumal dies ein schlagender Beweis für die Spitzenstellung von ULVAC als Anbieter von Fertigungstechnologie-Lösungen für die Piezo-MEMS-Industrie ist“, so Dr. Koukou SUU, Executive Officer und Senior Fellow von ULVAC.
