EV Group und DELO kooperieren bei Wafer-Level-Optiken

Redakteur: Christian Schewe

EV Group (EVG), ein nach eigenen Angaben führender Entwickler und Hersteller von Anlagen für Waferbonding- und Lithographieanwendungen in der Halbleiterindustrie, Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie, hat die Partnerschaft im Bereich Wafer-Level-Optiken mit DELO bekannt gegeben.

Beide Firmen wollen nun ihre Anstrengungen bündeln und zukunftsweisende optische Komponenten und Anwendungen wie biometrische Authentifizierung und Gesichtserkennung für die Industrie-, Automobil- und Unterhaltungselektronik ermöglichen. Dabei würden EVGs Equipment- und Prozesslösungen für das Linsenprägen und die Nanopräge-Lithographie (NIL) sowie Klebstoffe und Resist-Materialien von DELO zum Einsatz kommen. Die Partnerschaft trage zu verbesserten und beschleunigten Materialentwicklungszyklen bei. Das EVG NILPhotonics Competence Center bietet Kunden und Partnern entlang der NIL-Lieferkette einen Open-Access Innovationsinkubator, um gemeinsam die Entwicklungszyklen innovativer Komponenten und Anwendungen zu verkürzen und deren schnellere Markteinführung zu ermöglichen. Die Infrastruktur umfasst Reinräume und Anlagen, die wichtige NIL-Herstellungsschritte wie Step-and-Repeat-Mastering, Linsenprägen und EVGs SmartNIL®-Technologie sowie Waferbonden und Metrologie unterstützen. Hochentwickelte Klebstoffe und Resists spielten eine zentrale Rolle bei der Herstellung der nächsten Generation optischer Sensoren auf Wafer-Ebene für den Massenmarkt. „Das NILPhotonics Competence Center adressiert in einzigartiger Weise die Anforderungen der Industrie, neue Wege zur Produktentwicklung zu finden, eine schnelle Markteinführung zu ermöglichen und den Schutz vertraulicher Informationen zu berücksichtigen", sagt Markus Wimplinger, Corporate Technology Development und IP Director bei EV Group. „Gemeinsam können wir unser Know-how in der Anwendung der Wafer-Level-Prozesstechnologie für die Fertigung optischer und photonischer Komponenten einbringen, was EVG zu einem idealen Partner bei der Entwicklung unserer neuesten Produkte macht“, ergänzt Robert Saller, Geschäftsführer von DELO. Die WLO-Fertigungslösungen von EVG ermöglichen eine Vielzahl neuartiger, optischer Sensoren für mobile Consumerelektronikprodukte. Wichtige Beispiele sind 3D-Sensorik, Time-of-Flight, strukturiertes Licht, biometrische Authentifizierung, Gesichtserkennung, Iris-Scanning, optische Fingerabdruckerkennung, Spektral-Sensorik, Umweltsensorik und Infrarot-Bildgebung. Weitere Anwendungen sind Automotive Lighting, Head-Up-Displays, In-Car-Sensorik und LiDAR sowie endoskopische Kameras in der Medizintechnik.

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