Sinosemic erhält von Aixtron MOCVD-Anlage zur Herstellung von Laserdioden

Das Unternehmen wird seine erste Aixtron-Anlage im Laufe des vierten Quartals 2018 erhalten. Das vollautomatische Planetary Reactor®-Fertigungssystem wird in einer 8x6-Zoll-Konfiguration ausgeliefert. Die AIX 2800G4-TM habe sich als führende Anlage für die Großserienfertigung von VCSEL für 3D-Sensoren und andere Diodenlaser etabliert. Das Planetary Reactor®-Konzept ermögliche nicht nur eine maximale Ausbeute an Bauelementen auf höchstem Leistungsniveau, sondern auch eine beispiellose Produktivität und Homogenität der Epitaxie-Wafer. Darüber hinaus bietet die AIX 2800G4-TM eine hohe Effizienz im Handling teurer Chemikalien, die für MOCVD-Prozesse bei der Herstellung von Laser-Bauelementen verwendet werden. „In den vergangenen Jahren hat sich die AIX 2800G4-TM-Plattform für die Herstellung von VCSEL- oder Datacom-Lasern im Markt durchgesetzt“, sagt Ling Yong Peng, Geschäftsführer der Sino-Semiconductor Integrated Optoelectronics Cooperation. Es sei das erste Mal, dass man eine MOCVD-Anlage bei Aixtron bestellt habe. Jetzt freue man sich darauf, von der Leistungsfähigkeit der AIX 2800G4-TM-Anlage hinsichtlich Wafer-Homogenität und maximaler Flexibilität zu profitieren. Und Dr. Bernd Schulte, Vorstand der Aixtron SE ergänzt: „Wir sind sehr froh, Sino-Semiconductor von der Leistungsfähigkeit unserer AIX 2800G4-TM-Anlage überzeugt zu haben“. Es sei die ideale Lösung für die Großserienfertigung im Bereich der photonischen Anwendungen.