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© Aixtron Elektronikproduktion | 27 September 2018

Sinosemic erhält von Aixtron MOCVD-Anlage zur Herstellung von Laserdioden

Die Sino-Semiconductor Integrated Optoelectronics Cooperation (Sinosemic) hat eine AIX 2800G4-TM MOCVD-Anlage zur Herstellung von Laserdioden bestellt. Der chinesische Chiphersteller ist hauptsÀchlich auf die Produktion von VCSEL-Bauelementen (Vertical-Cavity Surface Emitting Laser/OberflÀchenemittierende Laser) spezialisiert.
Das Unternehmen wird seine erste Aixtron-Anlage im Laufe des vierten Quartals 2018 erhalten. Das vollautomatische Planetary ReactorÂź-Fertigungssystem wird in einer 8x6-Zoll-Konfiguration ausgeliefert. Die AIX 2800G4-TM habe sich als fĂŒhrende Anlage fĂŒr die Großserienfertigung von VCSEL fĂŒr 3D-Sensoren und andere Diodenlaser etabliert. Das Planetary ReactorÂź-Konzept ermögliche nicht nur eine maximale Ausbeute an Bauelementen auf höchstem Leistungsniveau, sondern auch eine beispiellose ProduktivitĂ€t und HomogenitĂ€t der Epitaxie-Wafer. DarĂŒber hinaus bietet die AIX 2800G4-TM eine hohe Effizienz im Handling teurer Chemikalien, die fĂŒr MOCVD-Prozesse bei der Herstellung von Laser-Bauelementen verwendet werden.

„In den vergangenen Jahren hat sich die AIX 2800G4-TM-Plattform fĂŒr die Herstellung von VCSEL- oder Datacom-Lasern im Markt durchgesetzt“, sagt Ling Yong Peng, GeschĂ€ftsfĂŒhrer der Sino-Semiconductor Integrated Optoelectronics Cooperation. Es sei das erste Mal, dass man eine MOCVD-Anlage bei Aixtron bestellt habe. Jetzt freue man sich darauf, von der LeistungsfĂ€higkeit der AIX 2800G4-TM-Anlage hinsichtlich Wafer-HomogenitĂ€t und maximaler FlexibilitĂ€t zu profitieren. Und Dr. Bernd Schulte, Vorstand der Aixtron SE ergĂ€nzt: „Wir sind sehr froh, Sino-Semiconductor von der LeistungsfĂ€higkeit unserer AIX 2800G4-TM-Anlage ĂŒberzeugt zu haben“. Es sei die ideale Lösung fĂŒr die Großserienfertigung im Bereich der photonischen Anwendungen.
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