EV Group Erfolg mit Lithographie- und Metrologiesystemen

Das Portfolio des Entwicklers und Herstellers von Anlagen für Waferbonding- und Lithographieanwendungen in der Halbleiterindustrie, Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie, umfasst den automatisierten EVG®770 UV-Nanoimprint-Lithographie (UV-NIL) Stepper für die Produktion von Masterstempeln im Step-And-Repeat-Verfahren, das IQ Aligner® UV-Prägesystem für die Wafer-Level-Linsenprägung und -Stapelung, sowie das automatisierte EVG®40 NT Messsystem zur Alignment-Kontrolle. Der Einsatz neuester Imprint Lithographie- und Bond Alignment-Technologien zur Fertigung von Mikrolinsen, diffraktiven optischen Elementen und weiteren optischen Komponenten auf Waferebene bietet zahlreiche Vorteile. Hierzu zählen geringere Gesamtbetriebskosten durch hochgradig parallele Produktionsprozesse sowie die Möglichkeit, die Device-Abmessungen durch den mehrschichtigen Aufbau zu verkleinern. Die Nachfrage nach EVGs WLO-Fertigungslösungen wird zu einem Teil vom Bedarf an neuartigen, optischen Sensoriklösungen und Komponenten für Produkte der mobilen Unterhaltungselektronik getrieben. Zentrale Beispiele dafür sind etwa die 3D-Erfassung (wichtig für authentischere Nutzererfahrungen bei Virtual Reality und Augmented Reality (VR/AR) Anwendungen), die in der Sicherheitstechnik immer wichtiger werdende Erfassung von biometrischen Merkmalen, die Erfassung von Umweltfaktoren und Infrarotlicht sowie Kamera-Arrays. Weitere Anwendungen umfassen beispielsweise zusätzliche optische Sensoren in Smartphones zur Erfassung von Tiefeninformationen für verbesserte Autofokusergebnisse der Kameras sowie Mikrodisplays.