TNO und ASML schließen Partnerschaft für die industrielle Fertigung photonischer Chips
Die niederländische Forschungsorganisation TNO und der Lithografieanlagen-Hersteller ASML arbeiten künftig an der industriellen Fertigung photonischer Chips in Eindhoven zusammen. Das teilte TNO am 24. Juni mit. Die Zusammenarbeit dreht sich um die neue Photonic-Chip-Pilot-Line auf dem High-Tech-Campus in Eindhoven. Dort wollen TNO und ASML Lithografie, Prozesskontrolle und Messtechnik so weiterentwickeln, dass photonische Chips in größeren Stückzahlen gefertigt werden können.
Pilotlinie soll 6-Zoll-Fertigung für InP-Chips ermöglichen
Die Partner wollen in der Photonic-Chip-Pilot-Line zentrale Prozessschritte für die spätere Fertigung photonischer Chips testen. ASML setzt in der Anlage DUV- und I-Line-Scanner ein. Die Systeme sollen helfen, Lithografieprozesse mit Prozesskontrolle und Messtechnik zusammenzuführen und damit stabilere Abläufe für größere Fertigungsmengen zu entwickeln.
Nach der Inbetriebnahme soll die Anlage fortschrittliche Indiumphosphid-Photonikchips auf 6-Zoll-Wafern fertigen können. Die Pilotlinie dient dabei auch als gemeinsame Entwicklungsumgebung. Geplant sind technische Workshops, gemeinsame Innovationsarbeiten sowie interne Prozessentwicklungen und Kundendemonstrationen von ASML.
Stanislas Baron, Senior Vice President bei ASML, sagte: „Die Skalierung photonischer Chiptechnologie erfordert einen nahtlosen Übergang von Spitzenforschung zu Hochvolumenfertigung. Durch die Integration unserer Lithografiesysteme in die Pilotlinie von TNO schließen wir diese Lücke. Diese Zusammenarbeit bietet uns die ideale Umgebung, um unsere Prozesse für integrierte Photonik zu optimieren und letztlich die Markteinführung dieser transformativen Technologie zu beschleunigen.“
Mehr Tempo für Europas Photonik-Ökosystem
Mit der Partnerschaft wollen TNO und ASML Europas Rolle in der integrierten Photonik ausbauen. Integrierte Photonik nutzt Lichtsignale für Datenverarbeitung und Datenübertragung und gilt als wichtiger Technologiebereich für Europas Halbleiterumfeld. Damit aus solchen Ansätzen industrielle Produkte entstehen, müssen Forschungsdesigns in stabile Fertigungsprozesse für größere Volumen überführt werden.
Den Transfer aus der Forschung treibt TNO auch im Photonic Integration Technology Centre mit der Technischen Universität Eindhoven und der Universität Twente voran. Dort sollen Photonikdesigns schneller den Weg in anwendungsnahe Lösungen finden. Die ASML-Kooperation stärkt diesen Weg nun um Lithografie-Know-how für größere Fertigungsvolumen.
Arnaud de Jong, Managing Director TNO High Tech Industry, erklärte: „Diese Partnerschaft mit ASML stärkt unser Engagement, europäische Unicorns in der Halbleiterlandschaft aufzubauen. Mit unseren F&E-Kompetenzen und erstklassiger Ausrüstung schaffen wir eine einzigartige Pilotlinien-Umgebung, von der die gesamte Branche profitieren wird.“
