EU genehmigt 288 Millionen Euro für Halbleiteranlagen in Deutschland
Die Europäische Kommission macht den Weg frei für eine deutsche Förderung von 288 Millionen Euro für zwei neue Anlagen in der Halbleiter-Wertschöpfungskette. Das geht aus einer Mitteilung der Kommission vom 20. Mai hervor. 222 Millionen Euro sind für den deutschen Optik- und Halbleiterausrüster Carl Zeiss in Oberkochen vorgesehen. 66 Millionen Euro gehen an die Zadient Materials Europe GmbH in Bitterfeld. Beide Projekte sollen Europas Position und Autonomie in der Halbleiter-Wertschöpfungskette stärken.
Neue Anlagen für EUV-Lithografie und Halbleiter-Ausgangsmaterial
Das Geld geht in Projekte für Fertigungsausrüstung und Materialversorgung in der europäischen Chipindustrie. Carl Zeiss erhält 222 Millionen Euro für das Projekt „HNA@SCALE“ in Oberkochen in Baden-Württemberg. Der deutsche Optik- und Halbleiterausrüster will dort optische EUV-Säulen der nächsten Generation industrialisieren. Die Komponenten sind für künftige EUV-Lithografiemaschinen von ASML vorgesehen.
In Bitterfeld will Zadient Materials Europe eine neue Produktionsstätte für ultrareines Siliziumkarbid errichten. Für das Projekt „Sic-Pro“ erhält das Unternehmen 66 Millionen Euro. Die geplante Anlage soll Prozessgase zurückgewinnen und in den Produktionskreislauf zurückführen. Die Kommission erwartet davon hohe Materialqualität sowie Vorteile bei Energieeffizienz und langfristigen Kosten.
Förderung soll Europas Chipversorgung absichern
Brüssel zielt mit der Förderung auf zwei Stellen der Chipproduktion: auf Fertigungsausrüstung für Chips des Spitzensegments und auf Ausgangsmaterial für die Halbleiterindustrie. Der Beschluss greift Ziele des europäischen Chip-Gesetzes auf. Die aktuellen Genehmigungen sind der zwölfte und dreizehnte Beschluss dieser Art. Insgesamt wurden auf dieser Grundlage bislang Beihilfen von rund 13,9 Milliarden Euro für Halbleitertechnologien und Anwendungen freigegeben.
Deutschland hatte im November 2024 nach innovativen Investitionsvorhaben für die europäische Halbleiter-Wertschöpfungskette gesucht. Die Vorhaben von Zeiss und Zadient sind das dritte und vierte Projekt aus dieser Auswahlrunde. Die Unternehmen übernehmen dafür Pflichten über den Bau der Anlagen hinaus. Dazu gehören Kooperationen mit Universitäten und Forschungseinrichtungen, spezielle Ausbildungsangebote und die Ausführung vorrangiger Aufträge bei Versorgungsengpässen.
