Deutsche Forschungsgemeinschaft fördert Nanolithographie-Projekt in Thüringen mit 4 Mio. Euro
Die Deutsche Forschungsgemeinschaft finanziert ein Thüringer Projekt für die hochpräzise Nanostrukturierung und Vermessung photonischer Bauteile. Das geht aus einer Mitteilung der Technischen Universität Ilmenau vom 4. Mai hervor. Beteiligt sind die TU Ilmenau, die Friedrich-Schiller-Universität Jena und das Fraunhofer IOF. Die geplante Anlage soll den Bearbeitungsbereich für hochpräzise Nanostrukturen auf photonischen Bauteilen von rund 30 Zentimetern auf bis zu einen Meter erweitern.
Nanostrukturen auf photonischen Bauteilen im Meterformat
Mit der geplanten 3D-NLM wollen die Projektpartner hochpräzise Nanostrukturen auf photonische Bauteile bringen, deren Größe deutlich über heutigen Möglichkeiten liegt. Die Anlage soll solche Komponenten bearbeiten und vermessen. Ziel sind Flächen von bis zu einem Quadratmeter bei einer Präzision von bis zu 20 Pikometern. Im gesamten 3D-Arbeitsvolumen sollen die Strukturierungsabweichungen unter zehn Nanometern bleiben.
Die technische Basis kommt aus Ilmenau und Jena: Die TU Ilmenau steuert Nanopositionier- und Nanomesstechnik bei. Das Fraunhofer IOF und das Institut für Angewandte Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena bringen die Verfahren für die 3D-Nanolithographie in das Projekt ein.
Nanostrukturen für Schaltkreise, Sensorik und Raumfahrt
Die geplante Anlage adressiert Bauteile, bei denen optische Funktionen über Nanostrukturen eingestellt werden. Laut TU Ilmenau kommen solche Komponenten für integrierte elektronische und photonische Schaltkreise infrage. Weitere mögliche Einsatzfelder sind Hochleistungsoptiken für Erdbeobachtung, Messtechnik, Sensorik, Raumfahrt und photonische Quantenchips.
Prof. Thomas Kissinger, 3D-NLM-Projektleiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau, erklärte: „Hiermit gehen wir in Ilmenau an die Grenze des technisch Machbaren – und vielleicht sogar noch ein Stückchen darüber hinaus.“
Die erste Projektetappe läuft drei Jahre und wird über das DFG-Programm „Neue Geräte für die Forschung“ finanziert. Insgesamt ist das Vorhaben bis 2032 angelegt. Die Förderung für den ersten Abschnitt beträgt vier Millionen Euro.
