Nanometergenaue Positionierung: SIOS und IMMS starten Projekt MC_NPS für High-Tech-Anwendungen
Die SIOS Meßtechnik GmbH und das IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme haben im November 2025 das gemeinsame Verbundprojekt „Motion Controller für die Nano-Positionier-Plattform NPS6D100“ (MC_NPS) gestartet. Ziel ist die Entwicklung einer marktfähigen Steuerlösung für ein Nanopositioniersystem mit großem Verfahrweg und hoher Präzision.
Im Projekt wird eine am IMMS entwickeltes Nanopositioniersystem mit sechs geregelten Freiheitsgraden (Durchmesser Ø 100 mm, Höhenweg 10 mm, Auflösung <2 nm) mit einer industriellen Steuerung von SIOS verbunden. Damit sollen sowohl der Arbeitsbereich als auch die Praxistauglichkeit gesteigert werden – adressiert werden unter anderem Anwendungen in den Bereichen Halbleiter, Optik, Medizin, Raumfahrt, Photonik und Quantentechnologie.
Das Projekt wird über das Förderprogramm „FTI Thüringen Verbund Dynamik“ kofinanziert und richtet sich speziell an die industrielle Weiterverwertung von Forschungsergebnissen. Dank der Zusammenarbeit zwischen Forschung und Industrie entsteht eine modulare Systemlösung „Made in Thüringen“, die flexibel mit unterschiedlichen Sensor- und Aktortechnologien einsetzbar sein wird.
