Fraunhofer IPMS feiert 20 Jahre CNT und stellt neues Messsystem mit DIVE vor
Das Center Nanoelectronic Technologies (CNT) des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme IPMS feiert sein 20-jähriges Bestehen und kündigt gemeinsam mit dem Partner DIVE ein innovatives Messsystem zur Optimierung von Halbleiterprozessen an. Seit seiner Gründung im Jahr 2005 hat sich das CNT zu einer zentralen Säule der angewandten Halbleiterforschung in Deutschland und Europa entwickelt. Mit seinem 300-mm-Forschungsreinraum im Industriestandard ist es bundesweit einzigartig und ein wichtiger Treiber für die Mikroelektronikbranche.
Ministerpräsident Michael Kretschmer würdigte in einem Festakt die Bedeutung des CNT für den Standort Sachsen und hob dessen Beitrag zur technologischen Souveränität Europas hervor. Auch langjährige Industriepartner wie GlobalFoundries betonten den Standortvorteil der Nähe zu einem voll ausgestatteten 300-mm-Reinraum für schnelle Innovationszyklen.
Entstanden als Public-Private-Partnership mit Infineon und AMD, öffnete sich das CNT nach der Finanzkrise 2009 neuen nationalen und internationalen Kunden. Heute arbeitet es mit mehr als 100 Industriepartnern zusammen, darunter BASF, Sony, X-FAB und GlobalFoundries. Investitionen von rund 140 Millionen Euro in modernste Anlagen haben das CNT zur wichtigsten 300-mm-Forschungseinrichtung Deutschlands gemacht.
Mit dem erfolgreichen Umzug in die ehemalige Fab von Plastic Logic wurden die Kapazitäten erweitert, um neben klassischer Halbleiterforschung auch neue Themen wie Quantencomputing, Neuromorphic Computing, KI-Hardware sowie 2.5D- und 3D-Chiplet-Integration voranzutreiben. Als Teil der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland ist das CNT eng mit Partnern wie imec in Leuven und CEA-LETI in Grenoble vernetzt, um europäische Forschungskompetenzen zu bündeln.
Das neue gemeinsam mit DIVE entwickelte Messsystem soll Prozesseffizienz und Qualität in der Halbleiterfertigung weiter steigern und unterstreicht den Anspruch des CNT, Forschung und Industrie eng zu verzahnen. Institutsleiter Prof. Dr. Harald Schenk und Fraunhofer-Präsident Prof. Holger Hanselka betonten die zentrale Rolle des CNT als Innovationsmotor und verlässlicher Partner für die deutsche und europäische Halbleiterindustrie.