Rigaku startet Serienproduktion des XTRAIA XD-3300 für den Chipmarkt
Der XTRAIA XD-3300 ist in der Lage, direkte, zerstörungsfreie Beugungsmessungen von Supragitterstrukturen mit höchster Auflösung auf mikroskopisch kleinen Pads von Wafern durchzuführen.
Die Rigaku Corporation, ein weltweit tätiger Anbieter von Röntgenmesstechniksystemen und Tochterunternehmen der japanischen Rigaku Holdings Corporation, hat die kommerzielle Serienproduktion des neuen hochauflösenden Mikrospot-Röntgenbeugungssystems XTRAIA XD-3300 aufgenommen.
Rigaku entwickelte das XTRAIA XD-3300 als ein vollständig eigenständig konzipiertes und gebautes Metrologiesystem – von der Röntgenoptik über den Detektor bis hin zur Auswertesoftware für die Beugungsmessungen. Laut Pressemitteilung ermöglicht das System direkte, zerstörungsfreie Messungen von Supragitterstrukturen auf Wafern mit bislang unerreichter Auflösung.
Das herzstück des Systems ist die eigens entwickelte Röntgenoptik, die durch die Kombination hochleistungsfähiger Spiegel mit gebogenen Kristallen eine drastische Steigerung der Messgeschwindigkeit ermöglicht: Aufgaben, die bislang mehrere Stunden in Anspruch nahmen, können jetzt in wenigen Minuten abgeschlossen werden – bis zu 100-mal schneller als bei bisherigen Systemen.
Zudem liefert die fortschrittliche Beugungssoftware präzise numerische Daten zur Periodizität und Grenzflächenqualität dieser komplexen, mehrschichtigen Supragitterstrukturen.
„Der XTRAIA XD-3300 ist die Quintessenz von Rigakus Spitzentechnologie,“ sagte Kiyoshi Ogata, Senior Executive Vice President und General Manager der Produktdivision bei Rigaku.
„Wir haben das System bereits an mehrere führende Halbleiterhersteller geliefert, die an der Entwicklung von Halbleitern der nächsten Generation auf Basis von Si/SiGe-Supragitterstrukturen arbeiten.
Mit dem Übergang zur Massenproduktion dieser neuen Chips erwarten wir eine zunehmende Nachfrage nach dem XD-3300.“
