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Allgemein | 05 Februar 2007

Workshop zu Technologien und Werkstoffen der Mikro- und Nanosystemtechnik

Die VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM) lädt zu einem Workshop „Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik“ am 07. und 08. Mai 2007 nach Karlsruhe ein.

Experten aus Industrie und Wissenschaft bewerten neueste Entwicklungstrends in wichtigen Fertigungstechnologien und Materialsystemen unter dem Aspekt der Wirtschaftlichkeit. Die Mikrosystemtechnik hat sich in den letzten Jahrzehnten zu einer Schlüsseltechnologie entwickelt. Auf der Materialbasis Silizium haben sich inzwischen eine Vielzahl leistungsfähiger Technologien wie Oberflächen-Mikromechanik oder Waferbondverfahren entwickelt. Neben der Siliziumtechnik sind Materialsysteme wie Metalle, Keramiken, Gläser und Kunststoffe mit ihren Fertigungsverfahren in den Vordergrund getreten. Dazu zählen die Dünnschichttechnik sowie die Kombination aus Tiefenlithographie, galvanischer Abformung und Replikation (kurz LIGA). Die daraus entstandenen Mikroformverfahren erlauben die Fertigung großer Stückzahlen. Fortschritte in den Spritzgieß- und Heißprägeverfahren, die Weiterentwicklung klassischer Formgebungsverfahren wie Hochgeschwindigkeitsfräsen und Erodierverfahren haben die Miniaturisierung vorangetrieben. Auf der Materialseite wird die Nanotechnologie zur Verbesserung der Eigenschaften von Mikrosystemen beitragen. Der Workshop bietet Wissenschaftlern, Forschern und Ingenieuren die Möglichkeit, interessante Beiträge zu aktuellen und zukünftigen Entwicklungen aus der Mikro- und Nanosystemtechnik zu präsentieren. Noch können Aufsätze eingereicht werden. Nähere Informationen zur GMM, zur Tagung und zur Ausschreibung unter www.vde.com/gmm.
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