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© bernardo varela dreamstime.com Elektronikproduktion | 11 Oktober 2013

NCNST erforscht Nanoröhren und Graphen mit Aixtron Anlage

Das National Center for Nanoscience and Technology (NCNST) mit Sitz in Peking, China, hat eine Aixtron BM-Anlage zur Entwicklung kohlenstoffbasierter Strukturen – insbesondere von Nanoröhren und Graphen – auf 2-Zoll-Substraten bestellt.

„Im Augenblick konzentrieren wir uns auf die Charakterisierung von Kohlenstoffnanoröhren (CNT) und die Untersuchung von Plasmonen in Graphen“, berichtet Dr. Qing Dai vom NCNST. „Ziel ist die Herstellung nanophotonischer Bauelemente, beispielsweise von Terahertz-Wellenleitern.“ Darüber hinaus werde sein Team mit der neuen Anlage 3D-Nanostrukturen entwickeln und dazu CNT und Graphen kombinieren. Beide Materialien haben die Fähigkeit, aktiv kontrollierte plasmonische Effekte in Bauelementen auszunutzen. Die BM-Anlage verfügt über einen Hochleistungsheizer für Aufheizraten von bis zu 1000°C in der Minute und kann sowohl für thermische CVD- als auch plasmagestützte Prozesse eingesetzt werden. Die automatische Prozesskontrolle gewährleistet reproduzierbare Filme von zuverlässig hoher Qualität. „Speziell für die Kopplung und Verbreitung von Oberflächen-Plasmonen sind homogene Nanofilme extrem wichtig. Prozesse müssen zwingend reproduzierbar sein, um diese Art von Bauelementen überhaupt herstellen zu können“, so Dr. Dai. „Aufgrund meiner Vorerfahrung mit dieser Technologie bin ich jedoch sicher, dass die Anlage dies leisten wird.“
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2019.05.14 20:21 V13.3.8-1