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IMR entwickelt mit Aixtron Anlage
Das Institute of Metal Research (IMR) an der Chinese Academy of Sciences hat im ersten Quartal 2012 eine BM Pro PECVD-Anlage in einer 4-Zoll-Konfiguration zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren (CNT) und Graphen bestellt.
Nach der Auslieferung im dritten Quartal 2012 wird ein Serviceteam von Aixtron China Ltd. die Anlage im modernen Reinraum installieren und in Betrieb nehmen.
„Die neue Anlage wird unsere Möglichkeiten der Synthese von Kohlenstoff-Nanoröhren mit kontrollierter Leitfähigkeit und Chiralität entscheidend erweitern", so Prof. Cheng, der das Advanced Carbon Lab am Institut leitet. „Wir sehen der Auslieferung daher mit großer Erwartung entgegen. Die Technologie von Aixtron hat aufgrund ihrer Stabilität, Flexibilität und Prozessfähigkeiten branchenweit einen ausgezeichneten Namen. Wir sind daher zuversichtlich, dass wir mit Hilfe der neuen Anlage CNT und Graphen von hoher Qualität und mit hervorragenden strukturellen Eigenschaften und guter Reproduzierbarkeit herstellen können. Die Anlage ist darüber hinaus leicht zu bedienen und zu warten. Aixtron's Serviceteam wird uns außerdem hier vor Ort in allen Fragen zu Prozess- und Anlagentechnologie rund um die Uhr zur Verfügung stehen."
