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Elektronikproduktion | 05 September 2012

Universität Osaka investiert in Aixtron Anlage

Die Universität Osaka in Japan hat im dritten Quartal 2012 eine BM Pro-Anlage für 4-Zoll-Substrate bei Aixtron bestellt.

Unter der Leitung von Professor Matsumoto und Assistant Professor Maehashi wird sich ein Forschungsteam aus der Abteilung für Halbleiterelektronik am Institute of Scientific and Industrial Research (ISIR) mit der Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren- (CNT) und Graphen-basierten Biosensoren befassen. Ziel ist es, Graphen-Feldeffekttransistoren mit organischen Chemikalien wie Antikörpern, Antigenen und Aptameren zu kombinieren und damit die elektrische Erkennung spezieller Proteine zu ermöglichen. Mit der neuen Anlage wollen die Forscher darüber hinaus CNTs für Mikro-Elektromechanische Systeme (MEMS) sowie für Energiespeicher herstellen. „Die Universität von Osaka hat sich für unsere Anlage entschieden, weil diese alle Anforderungen optimal erfüllt und darüber hinaus kosteneffizient ist", erklärt Dr. Ken Teo, Direktor Nanoinstruments bei Aixtron. „Während wir die anspruchsvolle CVD-Technologie zur Verfügung stellen, können sich die Wissenschaftler voll und ganz auf die spezifischen Anforderungen der herzustellenden Bauelemente konzentrieren. Produktvorteile wie anwenderfreundliche Bedienung, hohe Flexibilität und bewährte Rezepte ermöglichen es unseren Kunden, unterschiedliche CNT- und Graphentypen zuverlässig und reproduzierbar zu entwickeln. Für die Herstellung von Bauelementen ist das ideal, denn Prozessstabilität ist dabei ein zentrales Kriterium." Die Aixtron Technologie könne zudem sehr einfach auf 300 mm Wafer für die industrielle Herstellung übertragen werden – etwa durch den Einsatz der BM 300T-Anlage von Aixtron.
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