Anzeige
Anzeige
Anzeige
Anzeige
Anzeige
Anzeige
Elektronikproduktion | 13 August 2012

DGIST entwickelt Nanoröhren-Felder mit Aixtron Anlage

Das Daegu Gyeongbuk Institute of Science & Technology (DGIST) in Südkorea hat eine 2-Zoll BM II-Anlage von Aixtron bestellt.

Damit sollen Kohlenstoff-Nanoröhren (CNTs) für dreidimensionale Bauelemente, zum Beispiel Nano-Antennen und -Gleichrichter, abgeschieden werden. Ein Aixtron Serviceteam hat die Anlage vor Ort installiert und in Betrieb genommen. „Für die Entwicklung dieser einzigartigen Bauelemente ist die kontrollierte Abscheidung einzelner, vertikal ausgerichteter Kohlenstoff-Nanoröhren auf festgelegten Positionen erforderlich“, sagt Professor Jae Eun Jang vom Department of Information & Communication Engineering am DGIST. „Hier ist die plasmabasierte Anlage von Aixtron anderen Systemen, die wir in Betracht gezogen hatten, deutlich überlegen und versetzt uns in die Lage, Kohlenstoffnanoröhren durch optimale Steuerung der Wachstumsparameter und der Ausrichtung reproduzierbar herzustellen." Auch wenn die Erforschung von CNT-Bauelementen in den letzten zehn Jahren bemerkenswerte Fortschritte erzielt hat, bleibt die präzise Steuerung von Anzahl und Position der Nanoröhren auf großen Flächen eine der Herausforderungen bei der Herstellung integrierter Schaltkreise. Das Institut will diese Aufgabe mit der Aixtron Anlage jetzt lösen. „Mit der BM-Anlage sind wir in der Lage, einwandige vertikale CNTs mit exakt vorgegebenen Abmessungen an festgelegten Positionen zu erzeugen – ein Prozess, der sich auch auf die bestehende Siliziumtechnologie übertragen lässt. Verglichen mit konventionellen Ansätzen ist die vertikale Orientierung einzelner Nanoröhren ein entscheidender Vorteil, weil so die Fläche des Bauelements deutlich verkleinert werden kann. Damit werden wir vertikale Nanoröhren nicht nur in Bauelementen für die Elektronik- und Kommunikationsindustrie, sondern auch in neuen Anwendungen wie Roboter- und Nano-Elektromechanischen Systemen einsetzen", so Professor Jang.
Weitere Nachrichten
2019.08.21 15:49 V14.1.4-2