Sematech und centrotherm kooperieren

centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG, eine 100-prozentige Tochter der centrotherm photovoltaics AG, die Hightech-Produktionsanlagen und dazugehörige Prozesstechnologien für die Halbleiterindustrie entwickelt, ist dem Front End Prozess (FEP) Programm von Sematech beigetreten. Ziel ist es, gemeinsam Niedertemperaturprozesse mit Hilfe der von centrotherm neu entwickelten Niedertemperatur-Plasmaoxidationsanlage für zukünftige, leistungsfähigste Logik- und Speicherbauelemente zu entwickeln. Kontinuierliche Miniaturisierung im Nanometerbereich bedingt neue Materialien und neue Bauelementkonzepte, die eine Reduzierung des thermischen Budgets im Prozessfluss erfordern. Um beispielsweise Transistoren mit hohen Ladungsträgermobilitäten im Kanalbereich einzuführen, sind Niedertemperaturprozesse dringend erforderlich. So werden die vorteilhaften Eigenschaften der Kanalmaterialien erhalten. In gleicher Weise benötigen fortgeschrittene Speichertechnologien qualitativ hochwertige, elektrische Isolationsschichten. Diese Oxidschichten werden bei extrem tiefen Temperaturen gewachsen – zum Beispiel für RRAM Speicherbauelemente (Resistive Random Access Memory), die Metalloxide enthalten. Die von centrotherm neu entwickelte Niedertemperatur-Plasmaoxidationsanlage bietet mit Ihrer Prozesstechnologie eine sehr gute Möglichkeit, durch extrem niedrige Prozesstemperaturen neuartige Materialien in zukünftige Bauelementtechnologien zu integrieren. Als Mitglied dieses Programms wird centrotherm sehr eng mit den Experten des Sematech FEP-Forschungsteams zusammenarbeiten, um mit Hilfe von Sematech Teststrukturen für plasmabasierte Niedertemperaturprozesse zu optimieren. Das Ziel besteht darin, die Anwendbarkeit der Niedertemperaturprozesse für Logik- und Speicherbauelemente mit Strukturbreiten kleiner 14 nm (Nanometer) zu demonstrieren. „Sematech stellt centrotherm eine exzellente Testplattform zur Verfügung, um aktuelle Prozesse zu charakterisieren und neue Anwendungen für unsere Anlage zu erschließen“, sagt Peter Augustin, CEO der centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG. „Diese Zusammenarbeit ist eine wichtige Möglichkeit für centrotherm, die technologische Leistungsfähigkeit unserer neuesten Niedertemperatur-Plasmaoxidationsanlage unseren Kunden zu demonstrieren und ist Teil unseres ct focus Programms, den Halbleiter- und Mikroelektronik-Bereich weiter auszubauen.“ Das Ziel des FEP-Programms von Sematech ist es, neuartigste Materialien, Prozesstechnologien, Bauelementmodule sowie elektrische und physikalische Charakterisierungsmethoden zur Verfügung zu stellen, um die kontinuierliche Miniaturisierung von Logik- und Speicheranwendungen zu ermöglichen.