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Elektronikproduktion | 05 August 2011

Pusan National University investiert in Aixtron-Anlage

Die koreanische Pusan National University (PNU) hat eine AIXTRON 4-Zoll Black Magic PECVD-Anlage in Betrieb genommen.

Die Wissenschaftler der PNU nutzen die Anlage zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhren (CNT) und Graphen für Bauelemente im Bereich der erneuerbaren Energien. Das komplette System wurde durch das Aixtron Serviceteam vor Ort installiert und in den Prozessbetrieb überführt. Professor Kwang-Ho Kim und sein Kollege Hyung Woo Lee vom National Core Research Center (NCRC) der PNU arbeiten an einem staatlich geförderten Projekt zu Hybridmaterialien auf Basis von CNT und Graphen. Professor Kwang-Ho Kim erläutert: „Unsere Forschung konzentriert sich auf die Entwicklung neuartiger Hybridstrukturen, die sich die einzigartigen physikalischen und elektronischen Eigenschaften von Kohlenstoff-Nanoröhren und Graphen zunutze machen. Sie kommen in verschiedenen elektronischen Bauelementen zum Einsatz, etwa bei Solarzellen und Sensoren. Für unsere Studien benötigten wir eine Anlage mit einer großen Prozess-Bandbreite bei CVD und PECVD. So können wir die unterschiedlichsten CNT- und Graphen-Strukturen, die für uns von Interesse sind, reproduzierbar herstellen. Diese strikten Prozessanforderungen werden von Aixtrons Black Magic-Anlage erfüllt. Sie liefert zuverlässig qualitativ hochwertige Materialfilme und ist einfach und flexibel in der Handhabung.”
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2019.10.11 15:09 V14.5.0-2