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Komponenten | 05 Juli 2011

Siltronic AG wird Partner in imec-Forschungsprogramm

Die MĂŒnchner Siltronic AG und das belgische Nanoelektronik-Forschungsinstitut imec haben eine Kooperation zur Entwicklung von Silicumwafern mit Galliumnitrid-Schicht (GaN-on-Si) geschlossen.
Das Vorhaben soll die Produktion von Festkörperleuchtmitteln (z.B. LEDs) und Leistungshalbleitern auf 200-mm-Siliciumwafern ermöglichen.

Der MĂŒnchner Waferhersteller setzt dabei auf die Verwendung von Galliumnitrid (GaN), das als vielversprechendes Material gilt. Durch die Kombination aus enormer ElektronenmobilitĂ€t, hoher Durchbruchspannung und guter WĂ€rmeleitfĂ€higkeit ist es besonders fĂŒr Optoelektronik und moderne Leistungshalbleiter geeignet, wie sie beispielsweise in Windkraft- und Solaranlagen, Elektrofahrzeugen oder stromsparenden KĂŒchengerĂ€ten zum Einsatz kommen. Strukturen der Form GaN/(Al)GaN zeigen gegenĂŒber klassischen, siliciumbasierten Anwendungen ein sehr effizientes Schaltungsverhalten. Allerdings muss die GaN-Technologie noch weiterentwickelt werden, um sie auch unter wirtschaftlichen Kriterien konkurrenzfĂ€hig zu machen. Um dies zu erreichen, sind kostengĂŒnstige und effiziente Produktionsprozesse zur epitaktischen Abscheidung von GaN/(Al)GaN-Strukturen auf Siliciumwafern grĂ¶ĂŸerer Durchmesser vielversprechend.

Die Siltronic AG hat jahrzehntelange Erfahrung bei der epitaktischen Abscheidung von Materialien auf Siliciumsubstraten. Imec ist einer der Pioniere auf dem Gebiet der Abscheidung von GaN auf Siliciumsubstraten mit einem Durchmesser von 2 bis 6 Zoll. Durch die Skaleneffekte bei der Produktion auf 200-mm-Wafern könnten sich die Herstellungskosten von LEDs und Leistungshalbleitern auf GaN-Basis erheblich verringern.

An dem international aufgestellten Forschungsprojekt sind neben Siltronic auch weitere Halbleiterhersteller (IDMs), Auftragsfertiger (Foundries), Silicium-Compound-Hersteller und Substrathersteller beteiligt. Siltronic wird im Rahmen dieser Kooperation die RÀumlichkeiten und technischen Möglichkeiten von imec in Leuven, Belgien, nutzen.
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2019.01.17 14:20 V11.11.0-2