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Komponenten | 05 Juli 2011

Siltronic AG wird Partner in imec-Forschungsprogramm

Die M├╝nchner Siltronic AG und das belgische Nanoelektronik-Forschungsinstitut imec haben eine Kooperation zur Entwicklung von Silicumwafern mit Galliumnitrid-Schicht (GaN-on-Si) geschlossen.
Das Vorhaben soll die Produktion von Festk├Ârperleuchtmitteln (z.B. LEDs) und Leistungshalbleitern auf 200-mm-Siliciumwafern erm├Âglichen. Der M├╝nchner Waferhersteller setzt dabei auf die Verwendung von Galliumnitrid (GaN), das als vielversprechendes Material gilt. Durch die Kombination aus enormer Elektronenmobilit├Ąt, hoher Durchbruchspannung und guter W├Ąrmeleitf├Ąhigkeit ist es besonders f├╝r Optoelektronik und moderne Leistungshalbleiter geeignet, wie sie beispielsweise in Windkraft- und Solaranlagen, Elektrofahrzeugen oder stromsparenden K├╝chenger├Ąten zum Einsatz kommen. Strukturen der Form GaN/(Al)GaN zeigen gegen├╝ber klassischen, siliciumbasierten Anwendungen ein sehr effizientes Schaltungsverhalten. Allerdings muss die GaN-Technologie noch weiterentwickelt werden, um sie auch unter wirtschaftlichen Kriterien konkurrenzf├Ąhig zu machen. Um dies zu erreichen, sind kosteng├╝nstige und effiziente Produktionsprozesse zur epitaktischen Abscheidung von GaN/(Al)GaN-Strukturen auf Siliciumwafern gr├Â├čerer Durchmesser vielversprechend. Die Siltronic AG hat jahrzehntelange Erfahrung bei der epitaktischen Abscheidung von Materialien auf Siliciumsubstraten. Imec ist einer der Pioniere auf dem Gebiet der Abscheidung von GaN auf Siliciumsubstraten mit einem Durchmesser von 2 bis 6 Zoll. Durch die Skaleneffekte bei der Produktion auf 200-mm-Wafern k├Ânnten sich die Herstellungskosten von LEDs und Leistungshalbleitern auf GaN-Basis erheblich verringern. An dem international aufgestellten Forschungsprojekt sind neben Siltronic auch weitere Halbleiterhersteller (IDMs), Auftragsfertiger (Foundries), Silicium-Compound-Hersteller und Substrathersteller beteiligt. Siltronic wird im Rahmen dieser Kooperation die R├Ąumlichkeiten und technischen M├Âglichkeiten von imec in Leuven, Belgien, nutzen.
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2019.03.15 12:31 V12.5.5-2