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Komponenten | 04 Juli 2008

Siltronic und Qimonda starten Kooperation für Grundlagenforschung

Siltronic und Qimonda Dresden starten eine Kooperation im Rahmen des Verbundprojektes " Silicium-basierte Grundmaterialien f├╝r 3- dimensionale Transistoren" (SIGMADT).
Es wird vom Bundesministerium f├╝r Bildung und Forschung (BMBF) mit 6,5 Millionen Euro gef├Ârdert. Die Partner erforschen dabei gemeinsam die Grundlagen f├╝r die ├╝bern├Ąchste Generation integrierter elektronischer Bauelemente, beispielsweise f├╝r Anwendungen im Bereich der DRAM-Datenspeicher. Bei zukunftsweisenden Siliciumbauelementen zeichnet sich ein ├ťbergang von 2-dimensionalen zu 3-dimensionalen Transistoren ab. Dadurch soll es m├Âglich werden, zuk├╝nftigen Anforderungen (z. B. geringerer Stromverbrauch und h├Âhere Leistungsf├Ąhigkeit) an neue Bauelemente bei zunehmend kleinerer Strukturgr├Â├če gerecht zu werden. Ziel der gemeinsamen Grundlagenforschung ist es, die Eigenschaften des Siliciumwafers auf die Anforderungen zuk├╝nftiger 3-dimensionale Transistoren optimal abzustimmen. Dar├╝ber hinaus werden neue Prozesse zur Herstellung zuk├╝nftiger Waferscheiben und Transistoren erarbeitet, da die 3-D-Technologie bisher ungekannte Anforderungen, beispielsweise an die Ebenheit der Wafer, stellt.
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