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© Wacker
Markt |

WACKER erweitert Produktion von Chlorwasserstoff

Die Wacker Chemie AG hat den Ausbau ihrer Produktion von hochreinem Chlorwasserstoff am Standort Burghausen abgeschlossen. Mit der Inbetriebnahme der neuen Anlage Mitte Juli sei die Gesamtkapazität deutlich erhöht worden.

Abnehmer der neu hinzugekommenen Mengen sei die Halbleiterindustrie, die hochreinen Chlorwasserstoff als Ätz- und Reinigungsmedium für die Halbleiterfertigung einsetzt. Die Investitionskosten für die neue Anlage liegen im niedrigen zweistelligen Millionen-Euro-Bereich, heißt es in einer Mitteilung. Mit dem Kapazitätsausbau stärke der Chemiekonzern sein Spezialitätenportfolio für die Halbleiterindustrie.

Chlorwasserstoff wird in der chemischen Industrie auf vielfältige Weise eingesetzt. Mit dem Reaktionsgas lassen sich aus energiearmen Rohstoffen reaktive Zwischenprodukte herstellen, die für die nachgelagerten Produktionsschritte benötigt werden. WACKER nutzt Chlorwasserstoff beispielsweise für die Herstellung von Siliconen, von hochdisperser pyrogener Kieselsäure und von Polysilicium für die Solar- und Halbleiterindustrie.

Das farblose, wasserlösliche Gas ist auch ein wichtiges Prozesshilfsmittel in der Halbleiterindustrie. Chlorwasserstoff wird zum Ätzen von Reinstsiliciumwafern und zum Reinigen von Anlagenteilen eingesetzt. Um Verunreinigungen zu vermeiden, müssen die verwendeten Medien hochrein sein. 

„Viele Wettbewerber sind in den vergangenen Jahren aus Kosten- und Qualitätsgründen aus der Produktion von Chlorwasserstoff ausgestiegen. Dies und die steigende Nachfrage nach Halbleiterbauteilen hat dazu geführt, dass hochreiner Chlorwasserstoff derzeit Mangelware ist“, sagt WACKER-Vorstandsmitglied Christian Kirsten.

WACKER zählt nach eigenen Angaben zu den wenigen Unternehmen in Europa, die HCl in der geforderten Qualität und in den benötigten Mengen liefern können. Für die vor kurzem abgeschlossene Erweiterungsmaßnahme samt Infrastruktur wurden am Standort Burghausen Investitionen im niedrigen zweistelligen Millionen-Euro-Bereich getätigt. 

„Unser Geschäft mit Electronic Chemicals entwickelt sich sehr erfreulich und hat hervorragende Wachstumsperspektiven. Die Digitalisierung führt nicht nur zu einer wachsenden Nachfrage nach Computerchips, sondern auch nach Prozessmedien wie hochreinem Chlorwasserstoff“, so Christian Kirsten.

WACKER nutzt zur Herstellung von Chlorwasserstoff Steinsalz aus seinem eigenen Bergwerk in Stetten. Zusammensetzung und Reinheit des dort geförderten Salzes eigneten sich besonders gut für die Produktion. 

„Bisher lag die Messlatte für halbleitertaugliches HCl bei 99,9979 Prozent. Unser Chlorwasserstoff hat einen Reinheitsgrad von 99,9995 Prozent und ist damit deutlich reiner als die sonst erhältlichen Qualitäten. Damit lassen sich die Reinheitsanforderungen in der Chipindustrie auch künftig erfüllen“, sagt Thomas Koini, Leiter des Geschäftsbereichs WACKER SILICONES.


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