EV Group und NOTION Systems kooperieren künftig miteinander
EV Group, Entwickler und Hersteller von Anlagen für Waferbonding- und Lithographieanwendungen in der Halbleiterindustrie, Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie und Notion Systems, Anbieter von industriellen Inkjet-Plattformen für funktionale Materialien, haben jetzt bekannt gegeben, dass sie eine Vereinbarung zur Entwicklung der ersten voll integrierten und automatisierten Nanoimprint-Lithographielösung mit Inkjet-Beschichtungsfunktion geschlossen haben.
Im Rahmen dieser Vereinbarung wollen die beiden Unternehmen ein maßgeschneidertes Inkjet-Modul entwickeln, das in die HERCULES® NIL-Plattform auf Basis der SmartNIL®-Technologie von EVG integriert werden soll. Das neue Digitaldruck-Modul werde die bestehenden Spin-Coating-Module von EVG ergänzen und als alternative Option für das Auftragen von Fotolacken auf NIL-Substrate für High-Volume-Manufacturing (HVM)-Anwendungen angeboten werden, die besondere Anforderungen an die Schichtaufbringung und -Gleichmäßigkeit stellen, heißt es in einer Pressemitteilung.
„Als Pionier für NIL arbeitet EVG im Rahmen seines NILPhotonics® Competence Centers mit Unternehmen aus der gesamten Nanoimprint-Lieferkette zusammen, um kontinuierlich an Innovationen der NIL-Technologie zu forschen, neue Anwendungen zu unterstützen und unseren Kunden eine noch größere Bandbreite an Funktionalitäten zu bieten", so Dr. Thomas Glinsner, Corporate Technology Director bei EV Group.
Der Inkjet-Digitaldruck ist für die präzise Steuerung von Menge und Platzierung des Fotoresists auf einem Substrat gedacht, um nach dem NIL-Prozessschritt einheitliche Schichtdicken zu erzielen, was wiederum eine hochpräzise Strukturübertragung ermögliche. Die Inkjet-Technologie ermöglicht auch eine flächenselektive Beschichtung mit Resist, unabhängig vom Füllfaktor sowie der Strukturgröße und -höhe, was sie ideal für Anwendungen wie Augmented/Virtual Reality (AR/VR) -Gratings mit seinen schmalen Zwischenräumen und ausgefallenen Topografien mache.
„Wir freuen uns, mit EV Group bei dieser für den NIL-Markt wichtigen Entwicklung zusammenzuarbeiten. Mit ihrer hohen Präzision, Tropfenplatzierungsgenauigkeit und Gleichmäßigkeit bietet unsere n.jet-Plattform in Kombination mit der SmartNIL-Technologie von EVG die perfekte Ergänzung zur Realisierung neuer NIL-Anwendungen, die mit den derzeitigen Spin-Coating-Ansätzen nicht abgedeckt werden können“, so Dr. Kai Keller, VP Business Development, Notion Systems.
