Soitec verstärkt sich im Bereich Prozesskontrolle
Soitec, ein Unternehmen in der Entwicklung und Herstellung innovativer Halbleitermaterialien, hat sich für eine Kooperation mit der KLA Corporation entschieden - ein Unternehmen im Bereich der Prozesskontrolle und Inspektionssysteme. Mit diesem Schritt solle eine hohe Ausbeute bei der Herstellung innovativer Siliziumkarbid-Bauelemente für die Automobilindustrie ermöglicht werden, heißt es in einer Mitteilung.
Soitec setze dabei seine patentierte SmartSiC™-Technologie zur Herstellung von SiC-Substraten ein, die die Leistung von Power- Electronic-Geräten verbessern und die Energieeffizienz von Elektrofahrzeugen steigern sollen. Soitec hat seine Partnerschaft mit KLA erweitert und sich für das Inspektionssystem Surfscan® SP A2 für seine SmartSiCTM-Wafer entschieden, nachdem das Unternehmen bereits erfolgreich die Inspektionssysteme von KLA für seine Silicon-on-Insulator (SOI)-Wafer eingesetzt hat.
Im März 2022 hatte Soitec den Bau einer neuen Produktionsstätte angekündigt, Bernin 4, an seinem Hauptsitz in Bernin bei Grenoble. Hier ist die Herstellung von SmartSiC™-Wafern mit einer Größe von 150 mm und 200 mm vorgesehen. Die neue Fabrik soll in der zweiten Hälfte des kommenden Jahres in Betrieb genommen werden.
„Die Kombination unserer SmartSiCTM-Substrate mit den Inspektions- und Messsystemen von KLA wird uns dabei helfen, höchste Qualitätsniveaus bei der Herstellung von Substraten zu gewährleisten und so die Ausbeute unserer Kunden zu steigern", sagt Christophe Maleville, Chief Technology Officer von Soitec.
„Durch unsere enge Zusammenarbeit mit Soitec waren wir in der Lage, unsere Surfscan-Prüftechnologie für das Segment der Substrate mit großem Bandabstand anzupassen. Das daraus resultierende Surfscan® SP A2-System bietet die Empfindlichkeit und Produktionsfähigkeit die Soitec benötigt, um seine strengen Qualitätsstandards für SiC und andere Substrate mit breitem Bandabstand zu erreichen", so Jijen Vazhaeparambil, Senior Vice President der Surfscan, ADE und ECI Gruppe.
