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© Aixtron Komponenten | 15 März 2022

Wolfspeed kauft AIXTRON-Anlagen für 200mm-Produktion

Wolfspeed Inc., Hersteller von Siliziumkarbid-Substraten und -Bauteilen, wird die 200mm Planetary Reactor(R)-Technologie der AIXTRON SE zur Herstellung von MOSFET- und Schottky-Dioden-Bauelementen auf Siliziumkarbid-Basis in seinen Produktionsanlagen einsetzen. Das hat das Unternehmen jetzt mitgeteilt.

„Siliziumkarbid ist eine der Schlüsseltechnologien für das Energiemanagement der nächsten Generation. Sie ermöglicht es uns, ein neues, höchst spannendes Kapitel in der Entwicklung der Halbleiterindustrie zu schreiben. Wolfspeed ist führend in der Produktion von 200mm Siliziumkarbid und wir sind stolz darauf, mit Wolfspeed zusammenzuarbeiten, um diese neueste Innovation auf den Markt zu bringen", sagt Dr. Felix Grawert, Vorstandsvorsitzender der AIXTRON SE.

Die neuen Planetenreaktoren werden in einer 6x200mm-Konfiguration geliefert, der größten bisher auf dem Markt erhältlichen Kapazität für die Siliziumkarbid-Epitaxie. Dies bedeute eine erhebliche Steigerung der gesamten Epitaxiefläche pro Produktionslauf im Vergleich zu bestehenden, auf dem Planetary-Reactor(R)-Konzept basierenden Systemen. Die hoch automatisierte Anlage soll einen schnellen Austausch von Teilen ermöglichen, ohne dabei die Produktionszyklen zu beeinträchtigen. Auch verfügen die Anlagen über eine Temperaturregelung, um die beste Leistung auf dem Wafer zu erzielen und somit den höchsten Qualitätsanforderungen für die Epitaxieschichten auf Siliziumkarbid-Wafern zu entsprechen.

„Die Nachfrage nach Siliziumkarbid-Lösungen nimmt weiter zu, vor allem in der Automobil-, Industrie- und Energiebranche, die von der Silizium- zur Siliziumkarbid-Technologie wechseln. Wolfspeed investiert weiter in die Kapazitätserweiterung, um aufbauend auf den Vorteilen von Siliziumkarbid dem Markt ein erweitertes Angebot zur Verfügung stellen zu können", sagt Wolfspeed-CEO Gregg Lowe.

Wolfspeed ist nach eigenen Angaben weltweit führend in der Siliziumkarbid-Technologie und fährt derzeit die Produktion in einer automatisierten 200-mm-Siliziumkarbid-Waferfabrik in Marcy, Mohawk Valley, New York, hoch.

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