HC Semitek kooperiert mit AIXTRON bei Micro LED-Displays
Die Marktnachfrage nach selbstemittierenden Micro LEDs in den Primärfarben rot, grün und blau beginnt stark zu steigen. HC Semitek, ein Unternehmen in der Halbleitertechnologie, wird AIXTRONs Planetenreaktorsystem einsetzen, um die steigende Marktnachfrage nach Micro LED-Displays zu befriedigen. Das haben die Unternehmen jetzt mitgeteilt.
Der chinesische Chiphersteller verlässt sich dabei auf die beiden MOCVD-Anlagentypen AIX 2800G4-TM und AIX G5+ C von AIXTRON SE. Die AIX 2800G4-TM und AIX G5+ C-Anlagen haben eine Konfiguration von 8x6 Zoll und sind im vierten Quartal 2021 ausgeliefert worden. HC Semitek positioniert sich für die Micro LED-Technologie, einen stark aufstrebenden Markt, der für die Display-Industrie eine entscheidende Rolle spielen wird. Diese Technologie ermögliche eine unübertroffene Pixelauflösung, eine überragende Display-Qualität und eine viel höhere Energieeffizienz als die bestehenden Display-Technologien. Um diese Vorteile zu erreichen, müssen bei der nächsten Generation von LED-Displays Millionen von LEDs im Mikrometerbereich auf ein einziges Display übertragen werden. Das hat die LED-Anbieter veranlasst, neue Technologien für den Transfer von solchen sehr hohen Stückzahlen zu entwickeln.
Dabei werden große LED-Arrays direkt von den prozessierten LED-Wafern übernommen, was ein vorheriges Wafer-Binning oder das Aussortieren defekter Chips überflüssig macht. Deshalb sei es von entscheidender Bedeutung, dass alle produzierten Epitaxie-Wafer eine sehr enge Wellenlängenverteilung und ein sehr geringes Maß an Defekten auf ihren Oberflächen aufweisen. Dafür sei ein innovativer und neuer MOCVD-Ansatz notwendig.
Die Planetenreaktortechnologie von AIXTRON ermöglicht während des Epitaxie-Prozesses eine Kontrolle der Schicht-Oberflächentemperatur auf Wafer-Ebene. Das gewährleistet eine sehr genaue Kontrolle der Indium-Einlagerung in die Multi-Quantum-Wells (MQW), die die Wellenlängenkonsistenz der produzierten Wafer bestimmt. Das Wafer-Transfersystem für den Kassettenbetrieb („Cassette-to-Cassette“) im Zusammenspiel mit der In-situ-Reinigung stellt sicher, dass keine Partikel die Schichten während der Handhabung oder des Epitaxie-Prozesses verunreinigen.
„AIXTRONs Planetenreaktortechnologie hat sich für beste Homogenität und niedrigste Partikelzahlen bewährt. Wir glauben, dass dies ein wichtiger Schritt hin zur Kommerzialisierung von Micro LEDs ist und HC Semiteks Position auf dem Display-Markt stärken wird", so Dr. Jianhui Zhou, CEO von HC Semitek.
„Die Micro LED-Technologie verändert das bestehende Display-Ökosystem, indem sie Methoden und Ansätze einbezieht, die bisher nur in der Halbleiterindustrie zu finden waren. Unsere Planetenreaktor-Plattformlösungen erfüllen diese strengen Epitaxie-Anforderungen perfekt", sagt Dr. Felix Grawert, Vorstandsvorsitzender der AIXTRON SE.
