ASML gibt Update über Feuer im Werk Berlin

Der Rauch hatte teilweise auch auf ein angrenzendes Gebäude übergegriffen. „Die anderen Gebäude am Standort sind nicht betroffen und voll funktionsfähig", schreibt das Unternehmen in dem Update. ASML sagt, dass die Produktionspläne für die Bereiche Metrology und Inspection nicht betroffen sind, da sie keine in Berlin hergestellten Komponenten enthalten. Die Herstellung von DUV-Komponenten wurde ebenfalls wieder aufgenommen. „Obwohl es bei den DUV-Komponenten zu Unterbrechungen kam, erwarten wir, dass diese so behoben werden, dass sie unsere Produktions- und Umsatzplanung für DUV nicht beeinträchtigen", so das Unternehmen. Was EUV betrifft, betraf das Feuer einen Teil des Produktionsbereichs der Waferklemme, einem Modul der EUV-Systeme des Unternehmens. ASML teilt weiter mit, dass man immer noch dabei sei, den Wiederherstellungsplan für diesen Produktionsbereich zu vervollständigen und zu bestimmen, wie mögliche Auswirkungen für EUV-Kunden minimiert werden können.