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© Aixtron Markt | 10 Dezember 2021

AIXTRON ist Partner bei EU-Projekt TRANSFORM

AIXTRON ist Partner des EU-Zukunftsvorhabens "TRANSFORM - Trusted European SiC Value Chain for a greener Economy". Das von der EU und nationalen Förderbehörden finanzierte Forschungs- und Entwicklungsprojekt soll die Erstellung einer wettbewerbsfähigen europäischen Lieferkette für Leistungselektronik auf Basis der Siliziumkarbid (SiC)-Halbleitertechnologie innerhalb der nächsten drei Jahre vorantreiben.

Für dieses Projekt arbeiten 34 europäische Experten im Bereich Siliziumkarbid-Technologie aus sieben EU-Ländern zusammen. Die Lieferkette soll Europa zuverlässig mit Siliziumkarbid-Komponenten und -Systemen versorgen. Die europäische Wertschöpfungskette reicht von Substraten bis hin zu Energiewandlern wie Transistoren oder Module. Ebenfalls Teil dieser Wertschöpfungskette ist die notwendige industrielle Halbleiterproduktionstechnik wie produktionserprobte CVD-Systeme (Chemical Vapor Deposition) mit hoher Ausbeute. AIXTRON übernimmt Aufgaben wie die weitere Verbesserung der CVD-Depositionstechnologie für Siliziumkarbid. Dazu gehört die Entwicklung einer Technologie zur gleichzeitigen CVD-Beschichtung von mehreren 200 mm-SiC-Substraten und einer CVD-Anlagentechnologie für Smart Cut SiC-Substrate. Das technologische Verfahren Smart Cut ermöglicht die Übertragung sehr feiner und dünner Schichten aus kristallinem Siliziumkarbidmaterial auf einen Träger (Substrat). Die Siliziumkarbid-basierte Leistungselektronik ermöglicht sehr hohe Energieeinsparungen, da sie elektrische Energie deutlich effizienter nutzt als der derzeit noch vorherrschend eingesetzte Halbleiter Silizium. Je nach Anwendung werden Energieeinsparungen durch den Einsatz der Siliziumkarbid-Technologie von bis zu 30 Prozent erwartet.
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2022.01.20 15:01 V20.1.11-1