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SINGULUS liefert ROTARIS Vakuum-Beschichtungsanlage
Die SINGULUS TECHNOLOGIES hat einen Auftrag für eine Vakuum-Beschichtungsanlage des Typs ROTARIS von einem europäischen Halbleiterproduzenten erhalten. Das Einsatzgebiet ist die Serienfertigung hochpräziser magnetischer TMR-Sensoren (Tunnel Magneto Resistance = magnetischer Tunnelwiderstand), die immer mehr Anwendungen wie beispielsweise im Bereich Automotive, Photovoltaikumrichter und Industrie erobern.
Wie das Unternehmen in einer Mitteilung schreibt, liege das Vertragsvolumen im niedrigen einstelligen Millionen-Euro-Bereich. Die Clustertools des Typs ROTARIS erlauben unter Produktionsbedingungen Schichten reproduzierbar mit Genauigkeiten von einem Zehntel Ångström (ein Ångström entspricht dem zehnmillionsten Teil eines Millimeters) und entspricht weniger als einer atomaren Monolage homogen auf einem Wafer mit einem Durchmesser von 300 mm.
Diese extreme Präzision sei beispielsweise bei TMR-Sensoren, welche den magnetischen Tunnelwiderstand ausnutzen, erforderlich. Mit ihnen lassen sich zum Beispiel indirekt Ströme in Leitungen über deren Magnetfeld sicher und galvanisch getrennt messen. Anwendungen finden sich in der Automobilindustrie, bei der Ladeinfrastruktur für Elektrofahrzeuge sowie Photovoltaikwechselrichter.
„Unser Kunde hat nach umfangreicher Prüfung der Beschichtungsergebnisse festgestellt, dass die ROTARIS Vakuum-Beschichtungsanlage die besten Ergebnisse hinsichtlich Schichtdickenkontrolle und Qualität der Beschichtung erreicht“, so Dr. rer. nat. Christian Strahberger, Chief Operating Officer und verantwortlich für das Halbleitergeschäft bei SINGULUS TECHNOLOGIES.
