US-LED-Hersteller entscheidet sich für Aixtrons AIX G5+ C für Micro LEDs

Brillantere Farben, hellere Bilder, höhere Energie-Effizienz – das sind die Eigenschaften der exzellenten Display-Technologie für die mobilen Geräte und Fernseher von morgen. Die Micro LED-Technologie ermöglicht diese Eigenschaften und ist kurz davor, die Display-Industrie zu revolutionieren. Die Micro LED-Technologie steht deshalb auf der Roadmap aller LED-Anbieter. Die nächste Generation von LED-Displays erfordert den Transfer von Millionen von LEDs im Mikrometerbereich auf ein einziges Display. Das hat LED-Lieferanten vor die Herausforderung gestellt, neue Transfertechnologien für sehr hohe Volumina zu entwickeln. Dabei werden große LED-Arrays direkt von den prozessierten LED-Wafern entnommen, wodurch ein vorgelagertes Wafer-Binning oder das Aussortieren von defekten Chips vermieden werden kann. Infolgedessen ist es unerlässlich, dass alle produzierten Epitaxie-Wafer eine sehr enge Wellenlängenverteilung und ein sehr geringes Maß an Defekten auf ihren Oberflächen aufweisen, was innovative und neue MOCVD-Ansätze erforderlich macht. Die Anlage AIX G5+ C von Aixtron hat einen solchen Ansatz, schreibt das Unternehmen in einer Pressemitteilung. Sie verwendet dazu eine Wafer-Level-Kontrolle (basierend auf Auto-Feed Forward) der Filmoberflächentemperatur während des Epitaxie-Prozesses in Kombination mit einer Ultraviolett (UV)-Pyrometrie. Das gewährleistet eine sehr genaue Kontrolle der Einbringung von Indium in die Multi-Quantum-Wells (MQW), die letztendlich die Wellenlängenkonsistenz zwischen allen produzierten Wafern definiert. Ein Kassette-zu-Kassette-Transfermodul, gekoppelt mit einer In-situ-Reinigung, ergänzt die technische Lösung, um sicherzustellen, dass keine Partikel die Schichten während der Handhabung oder des Epitaxie-Prozesses verunreinigen. „Wir sind sehr erfreut, dass dieser Schlüsselspieler im Markt unsere AIX G5+ C für die weitere Entwicklung von bahnbrechenden Micro LED-Produktionsprozessen ausgewählt hat. Wir freuen uns darauf, die Markteinführung von Micro LEDs für Displays weiter zu beschleunigen. Die Micro LED-Technologie verändert das bestehende LED-Ökosystem, indem sie Methoden und Ansätze einbezieht, die bisher nur in der LCD- oder Halbleiterindustrie zu finden waren. Unsere AIX G5+ C-Plattform unterstützt diese strengen Epitaxie-Anforderungen perfekt", sagt Dr. Bernd Schulte, Präsident der AixtronN SE.