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Markt | 18 Juli 2019

AIXTRON liefert MOCVD-System an Universität Nagoya

AIXTRON SE, Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, hat eine Close Coupled Showerhead® (CCS)-Anlage an die japanische Universität Nagoya geliefert. Das 3x2-Zoll Flip Top CCS MOCVD-System von AIXTRON ist für die Forschung im Bereich tiefultravioletter optoelektronischer Bauelemente aus Galliumnitrid vorgesehen.

Die Universität Nagoya ist eine der führenden japanischen Forschungseinrichtungen für Halbleitermaterialien, insbesondere auf dem Gebiet GaN-basierter Strukturen. Die AIXTRON-Anlage wurde speziell für die Forschung und Kleinserienproduktion entwickelt und ermöglicht eine echte Skalierung von der Forschung und Entwicklung bis zur Großserienproduktion. Das Close Coupled Showerhead-Konzept ermögliche von Natur aus eine extrem gleichmäßige und reproduzierbare Abscheidung verschiedener komplexer, meist einkristalliner Materialien. Die hohe Flexibilität des außergewöhnlichen Reaktordesigns ermögliche nicht nur die Weiterentwicklung bestehender Materialien und deren Anwendung in zukünftigen Geräten, sondern auch eine umfassende Erforschung ganzer Materialien, ihrer Eigenschaften und Einsatzmöglichkeiten. „Neben seiner technischen Leistung zeichnet sich unser Closed Coupled Showerhead® Flip Top-Reaktor durch seine einfache Wartung und niedrigste Betriebskosten aus. Die Anlage ist eines der erfolgreichsten AIXTRON-Produkte, wie zahlreiche Aufträge von Universitäten, Labors und anderen Forschungseinrichtungen weltweit belegen“, freut sich Dr. Bernd Schulte, Vorstand der AIXTRON SE.
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2019.10.22 20:26 V14.6.0-1