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© RoodMicrotec Markt | 24 April 2019

RoodMicrotec investiert in neues Inspektionssystem für Halbleiter

RoodMicrotec N.V., Anbieter von Halbleiterbauelementen, hat ein neues automatisches optisches Inspektionssystem für Halbleiter im Testbereich der RoodMicrotec in Nördlingen installiert.

Mit dem modernen STI iFocus 505 erweitere man sein Leistungsportfolio um eine Vielzahl neuer Möglichkeiten, heißt es in einer Pressemitteilung des Unternehmens. Die Anforderungen der Industrie entwickelten sich schnell hin zur vollständigen Automatisierung der Prozesse. Mit dieser neuen Leistung verfüge RoodMicrotec nun über eine Lösung, die den Bedürfnissen der Kunden, insbesondere im Automobilsektor, entspreche. „Der Zweck dieser Dienstleistung ist es, Ausfälle und Schäden an eingehenden Wafern zu erkennen und die Qualität an ausgehenden Wafern zu sichern. So können wir mögliche Fehler aus vorangehenden Prozessschritten wie
Waferherstellung und Transport identifizieren und unseren Kunden Produkte in bestmöglicher Qualität liefern“, erläutert Martin Sallenhag, CEO der RoodMicrotec. Das AOI‐System ist in der Lage, 6‐, 8‐ und 12‐Zoll‐Wafer vollautomatisch von Kassette zu Kassette zu verarbeiten. Es bietet auch die Möglichkeit, gesägte Wafer oder Waferteilstücke, die auf einem Filmrahmen montiert sind, zu handhaben und zu prüfen. Die beiden Hauptkomponenten des Systems sind die Handlingeinheit und die optische Einheit. Die Handlingeinheit besteht aus einem Roboter, der die Wafer bearbeitet und von der Kassette zur Visioneinheit führt. Die Visioneinheit wird durch die bewegliche Aufnahmehalterung auf hochpräzisen Linearmotoren und dem direkt darüber liegenden leistungsstarken optischen System gebildet. Diese Visioneinheit ist auf einem 500 Kilogramm schweren Granitblock montiert und liegt auf vier Luftdämpfern, die die nötige Stabilität gewährleisten und Vibrationen kompensieren sollen. Der Durchsatz des Systems hänge von der verwendeten Vergrößerung ab. Hauptsächlich werde 5X verwendet, die Maschine sei aber auch für 2,5X, 3,5X, 7,5X und 10X geeignet. Die Vergrößerung bestimmt die Größe der Fehler, die erkannt werden können, heißt es weiter. Bei 10X könnten beispielsweise Fehler der Größe 1,6μm x 1,6μm gefunden werden.
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2019.09.20 17:48 V14.4.1-2