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© Aixtron Komponenten | 21 September 2018

Plessey setzt auf AIX G5+ C MOCVD-Anlage

AIXTRON SE, einer der weltweit fĂŒhrenden Anbieter von Depositionsanlagen fĂŒr die Halbleiterindustrie, hat von Plessey Semiconductors einen Auftrag ĂŒber einen AIX G5+ C Planetary ReactorÂź erhalten. Das hat das Unternehmen jetzt in einer Pressemitteilung geschrieben.
Die MOCVD-Anlage (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) soll Plessey‘s ProduktionskapazitĂ€t fĂŒr Galliumnitrid-auf-Silizium-Wafer (GaN-on-Si) fĂŒr Mikro-LED-Anwendungen weiter erhöhen. Mit einem automatischen Cassette-to-Cassette (C2C)-Wafer-Transfermodul wird die neue AIXTRON-Anlage im ersten Quartal 2019 in der 25.000 Quadratmeter großen ProduktionsstĂ€tte von Plessey in Plymouth (Großbritannien) installiert und in Betrieb genommen.

Die AIX G5+ C MOCVD-Anlage besitzt fĂŒr die Prozesskammer optional zwei verschiedene Einstellungsmöglichkeiten, die GaN-on-Si-Wafer-Konfigurationen von 8x6-Zoll und 5x8-Zoll ermöglichen. Dabei können die Wafer in einer geschlossenen Kassettenumgebung automatisch geladen und entnommen werden. Die Anlage wird eine ErgĂ€nzung zu den bestehenden MOCVD-Reaktoren des Unternehmens sein, die ebenfalls von AIXTRON stammen und ĂŒber Konfigurationen von 7x6-Zoll oder 3x8-Zoll – bei manueller Beladung - verfĂŒgen.

Die ProduktivitĂ€t des neuen Reaktors wird durch die automatisierte Selbstreinigungstechnologie weiter erhöht, da dadurch die Anzahl von Defekten auf dem Wafer deutlich verringert wird und die Reinheit des Reaktors bei jedem Durchlauf sichergestellt ist. Die neue Anlage bietet außerdem schnellere Aufheiz -und AbkĂŒhlraten sowie eine hohe Suszeptor-Entladetemperatur, was die Dauer der Prozesszyklen weiter verkĂŒrzt.

Die AIX G5+ C wird Plesseys Produktionsplan unterstĂŒtzen, um die F&E-KapazitĂ€t seiner monolithischen Mikro-LEDs auf Basis seiner proprietĂ€ren GaN-on-Si-Technologie zu erhöhen. Die Mikro-LEDs von Plessey bieten sehr niedrigen Stromverbrauch, hohe Helligkeit und sehr hohe Pixeldichte. Ziel von Plessey ist es, weltweit fĂŒhrend in der Entwicklung innovativer Beleuchtungen fĂŒr Bildprozessoren und vollflĂ€chig emittierende Mikro-LED-Displays zu werden.

„Unsere Beziehung zu AIXTRON ermöglicht es Plessey, seine monolithischen Mikro-LEDs schnell auf den Markt zu bringen“, sagt Mike Snaith, Chief Operating Officer bei Plessey. Und Dr. Frank Schulte, Vice President AIXTRON Europe, ergĂ€nzt, man sei zuversichtlich, dass die AIX G5+ C die Anforderungen von Plessey bestmöglich erfĂŒllen werden, um den sehr strengen Vorgaben fĂŒr die Mikro-LED-Produktion zu entsprechen.
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2018.12.13 13:08 V11.10.14-2