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© Aixtron
Komponenten |

Plessey setzt auf AIX G5+ C MOCVD-Anlage

AIXTRON SE, einer der weltweit führenden Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, hat von Plessey Semiconductors einen Auftrag über einen AIX G5+ C Planetary Reactor® erhalten. Das hat das Unternehmen jetzt in einer Pressemitteilung geschrieben.

Die MOCVD-Anlage (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) soll Plessey‘s Produktionskapazität für Galliumnitrid-auf-Silizium-Wafer (GaN-on-Si) für Mikro-LED-Anwendungen weiter erhöhen. Mit einem automatischen Cassette-to-Cassette (C2C)-Wafer-Transfermodul wird die neue AIXTRON-Anlage im ersten Quartal 2019 in der 25.000 Quadratmeter großen Produktionsstätte von Plessey in Plymouth (Großbritannien) installiert und in Betrieb genommen. Die AIX G5+ C MOCVD-Anlage besitzt für die Prozesskammer optional zwei verschiedene Einstellungsmöglichkeiten, die GaN-on-Si-Wafer-Konfigurationen von 8x6-Zoll und 5x8-Zoll ermöglichen. Dabei können die Wafer in einer geschlossenen Kassettenumgebung automatisch geladen und entnommen werden. Die Anlage wird eine Ergänzung zu den bestehenden MOCVD-Reaktoren des Unternehmens sein, die ebenfalls von AIXTRON stammen und über Konfigurationen von 7x6-Zoll oder 3x8-Zoll – bei manueller Beladung - verfügen. Die Produktivität des neuen Reaktors wird durch die automatisierte Selbstreinigungstechnologie weiter erhöht, da dadurch die Anzahl von Defekten auf dem Wafer deutlich verringert wird und die Reinheit des Reaktors bei jedem Durchlauf sichergestellt ist. Die neue Anlage bietet außerdem schnellere Aufheiz -und Abkühlraten sowie eine hohe Suszeptor-Entladetemperatur, was die Dauer der Prozesszyklen weiter verkürzt. Die AIX G5+ C wird Plesseys Produktionsplan unterstützen, um die F&E-Kapazität seiner monolithischen Mikro-LEDs auf Basis seiner proprietären GaN-on-Si-Technologie zu erhöhen. Die Mikro-LEDs von Plessey bieten sehr niedrigen Stromverbrauch, hohe Helligkeit und sehr hohe Pixeldichte. Ziel von Plessey ist es, weltweit führend in der Entwicklung innovativer Beleuchtungen für Bildprozessoren und vollflächig emittierende Mikro-LED-Displays zu werden. „Unsere Beziehung zu AIXTRON ermöglicht es Plessey, seine monolithischen Mikro-LEDs schnell auf den Markt zu bringen“, sagt Mike Snaith, Chief Operating Officer bei Plessey. Und Dr. Frank Schulte, Vice President AIXTRON Europe, ergänzt, man sei zuversichtlich, dass die AIX G5+ C die Anforderungen von Plessey bestmöglich erfüllen werden, um den sehr strengen Vorgaben für die Mikro-LED-Produktion zu entsprechen.

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2024.03.28 10:16 V22.4.20-2
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