AlixLabs testet APS-Technologie in europäischer NanoIC-Pilotlinie
Das schwedische Halbleiterausrüstungsunternehmen AlixLabs startet mit imec eine sechsmonatige Evaluierung seiner APS-Technologie in der europäischen NanoIC-Pilotlinie. Das geht aus einer Mitteilung von AlixLabs vom 1. Oktober hervor. Das Unternehmen will das Verfahren unter industrienahen Bedingungen untersuchen und auf vollständige Wafer übertragen. Die Ergebnisse sollen den weiteren Weg zur industriellen Qualifizierung vorbereiten.
APS-Test unter industrienahen Bedingungen
Für die Evaluierung stellt imec Line-and-Space-Strukturen mit Abmessungen her, die mit einigen der derzeit fortschrittlichsten Halbleiterprozesse in der Produktion vergleichbar sind. AlixLabs entwickelt und bewertet seinen APS-Prozess laut Mitteilung zunächst auf Coupons. Ausgewählte Prozessbedingungen überträgt das Unternehmen anschließend auf vollständige Wafer, die imec anhand seiner Messtechnik und methodischen Referenzverfahren untersucht.
APS teilt vorstrukturierte Merkmale selektiv und erzeugt aus einer ursprünglichen Linie zwei Linien. Dadurch verdoppelt sich die Strukturdichte. Das Verfahren nutzt nach Unternehmensangaben Atomic Layer Etching für eine präzise Materialabtragung und soll mit weniger Prozessschritten auskommen als etablierte Multiple-Patterning-Verfahren. Imec untersucht dabei unter anderem kritische Abmessungen, Linienrauheit, Profile und stochastische Defekte.
Validierung für den industriellen Einsatz
Mit dem Projekt will AlixLabs Prozessdaten sowie Erkenntnisse zur Integration und zum Verhalten auf vollständigen Wafern gewinnen. Mehrere potenzielle Kunden haben nach Unternehmensangaben eine solche Validierung bei imec ausdrücklich als Teil ihrer Bewertung von APS und dessen Eignung für fortgeschrittene Halbleiterfertigungsprozesse verlangt.
Jonas Sundqvist, CEO von AlixLabs, erklärte: „Diese Evaluierung gibt AlixLabs die Möglichkeit, APS in einer hochrelevanten und anspruchsvollen Halbleiter-Pilotlinienumgebung zu untersuchen. Der strategische Wert liegt für uns darin, mithilfe der etablierten Expertise, Messtechnik und Prozessmethodik von imec Daten zu gewinnen. Dies ist ein wichtiger Schritt, um zu zeigen, welchen Beitrag APS zu fortgeschrittenen Strukturierungsverfahren leisten kann, und um unsere Rolle im europäischen Halbleitertechnologie-Ökosystem weiterzuentwickeln.“
Mit den gewonnenen Daten will AlixLabs APS von der technologischen Erprobung zur industriellen Qualifizierung führen. Darauf sollen weitere Arbeiten an der Prozessintegration und die Qualifizierung der Anlagen folgen. Langfristig strebt das Unternehmen den Einsatz seiner Sax-Forma-APS-Plattform in der Hochvolumenfertigung an.
Giuseppe Fiorentino, Program Manager bei imec, sagte: „Die NanoIC-Pilotlinie soll innovative Halbleitertechnologien in einer fortgeschrittenen Pilotfertigungsumgebung zur Reife führen. Unsere Zusammenarbeit mit AlixLabs bringt dessen APS-Technologie mit der Expertise von imec bei Lithografie, Prozessintegration und Messtechnik zusammen, um das Potenzial eines neuen Strukturierungsverfahrens anhand industrienaher Kennzahlen zu untersuchen. Das Projekt zeigt den Wert der Zusammenarbeit im Ökosystem, um Innovationen zu beschleunigen, Entwicklungsrisiken zu reduzieren und Europas technologische Führungsrolle bei Halbleitern zu stärken.“
Das auf sechs Monate angesetzte Projekt findet im Rahmen der NanoIC-Pilotlinie statt. Das Chips Joint Undertaking finanziert deren Aufbau und Betrieb über die EU-Programme Digital Europe und Horizon Europe gemeinsam mit Flandern, Frankreich, Deutschland, Finnland, Irland und Rumänien.
