Canatu erhält weiteren Millionenauftrag von FST für CNT-Reaktor
Das finnische Nanotechnologieunternehmen Canatu hat vom südkoreanischen Halbleiterhersteller Fine Semitech Corporation (FST) einen weiteren Auftrag für einen CNT100-SEMI-Reaktor erhalten. Das geht aus einer Mitteilung von Canatu vom 24. August hervor. Mit dem zusätzlichen Reaktor will FST seine Fertigungskapazitäten für CNT-Pellicles ausbauen, die in der EUV-Halbleiterproduktion eingesetzt werden. Zusammen mit bereits zuvor bestellten Komponenten liegt der Auftragswert bei mehr als fünf Millionen Euro.
Ausbau der Fertigung von Schutzmembranen für Halbleiter
Die aus Kohlenstoffnanoröhren gefertigten Schutzmembranen werden in der modernen Halbleiterfertigung eingesetzt. Der neue Auftrag erhöht damit die Kapazitäten für eine Technologie, die Canatu und FST seit 2024 gemeinsam in die kommerzielle Produktion bringen.
Der erste CNT100-SEMI-Reaktor ging bereits im September 2024 an FST. Nach der Kundenfreigabe im Juli 2025 konnte der Halbleiterhersteller damit CNT-basierte EUV-Pellicles im kommerziellen Maßstab fertigen. Canatu erteilte FST im Oktober desselben Jahres eine Produktionslizenz. Anfang 2026 folgte bereits eine erste Bestellung für Teile des jetzt georderten weiteren Reaktors.
Maximilian Slawinski, CEO von Canatu, erklärte: „Dieser Reaktorauftrag zeigt das anhaltende Vertrauen in unsere einzigartige CNT-Technologie und unsere Reaktorplattform und bestätigt zugleich die wachsenden Marktchancen für CNT-Pellicles in der fortschrittlichen Halbleiterfertigung. Er ist außerdem ein weiterer großer Schritt auf dem Weg, Canatus CNT-Technologie als neuen Standard für Pellicles in der EUV-Halbleiterfertigung zu etablieren.“
Der Gesamtwert des Reaktorauftrags einschließlich der früheren Bestellung liegt laut Mitteilung bei mehr als fünf Millionen Euro. Einen ersten Teil des Umsatzes erwartet Canatu bereits in der zweiten Jahreshälfte 2026. Für 2027 ist auch die Auslieferung des zusätzlichen Reaktors vorgesehen. Mit dem Start der kommerziellen Produktion sollen Lizenzgebühren und der Verkauf firmeneigener Verbrauchsmaterialien weitere Einnahmen liefern.
