Tokyo Electron und Nvidia vertiefen Zusammenarbeit bei agentischer KI und Robotik
Laut einer Mitteilung von Tokyo Electron (TEL) baut das Unternehmen seine Zusammenarbeit mit Nvidia aus, um agentische KI- und Robotiklösungen für die Halbleiterfertigung weiterzuentwickeln. Dabei integriert TEL mehrere Nvidia-Technologien in sein Digitalisierungsprogramm „Epsira“.
Im Rahmen der Kooperation nutzt Tokyo Electron unter anderem das Nvidia Agent Toolkit mit NeMo, NIM, NemoClaw Blueprints sowie die offene Robotikplattform Nvidia Isaac.
Durch den Einsatz von Nvidia Isaac können Konstruktionsdaten in digitale Zwillinge integriert werden, die auf den Bibliotheken von Nvidia Omniverse basieren. Dies soll das Training von Wartungsrobotern beschleunigen und deren Präzision verbessern, insbesondere bei unterschiedlichen Anlagenkonfigurationen. Gleichzeitig unterstützt NeMo die Entwicklung, Optimierung und Bewertung von KI-Agenten, während NemoClaw deren sicheren Einsatz und eine einfachere Bedienung ermöglichen soll.
Das Epsira-Programm von Tokyo Electron zielt darauf ab, die Produktivität von Halbleiterherstellern zu steigern. Dies soll unter anderem durch eine höhere Produktionseffizienz, bessere Ausbeuten und eine höhere Anlagenverfügbarkeit erreicht werden. Dafür setzt TEL auf KI-gestützte Analysen zur Verlängerung der Mean Time Between Wet Cleaning (MTBWC), robotergestützte Wartung sowie KI-basierte Fehleranalysen.
„Wir freuen uns, dass unsere Zusammenarbeit mit Nvidia, einem weltweit führenden Unternehmen im KI-Zeitalter, weiter vertieft wurde“, sagte Keiichi Matsushima, Vice President und General Manager der Corporate Development Division von Tokyo Electron. „Die intensivere Zusammenarbeit ermöglicht es uns, das Epsira-Programm weiter auszubauen und die Produktivität unserer Kunden durch robotergestützte Wartung und KI-gestützte Fehleranalysen zu steigern.“
Auch Nvidia sieht in der Partnerschaft einen wichtigen Schritt für die Automatisierung der Halbleiterfertigung.
„Die Halbleiterfertigung tritt in eine neue Ära der Automatisierung ein, in der Robotik dazu beitragen kann, die Anlagenverfügbarkeit, Präzision und Widerstandsfähigkeit in immer komplexeren Produktionsumgebungen zu erhöhen“, sagte Amit Goel, Senior Director of Robotics and Edge AI Ecosystem bei Nvidia. „Durch den Einsatz agentischer und physischer KI-Modelle sowie entsprechender Frameworks bringt Tokyo Electron mehr Intelligenz in die robotergestützte Wartung, die KI-gestützte Fehleranalyse und den Fabrikbetrieb.“
