Ein Blick ins Innere der Maschine, die Mikrochips „druckt“
Um die modernsten Prozessoren und Speicher herzustellen, setzen Hersteller auf EUV-Lithografiesysteme – Maschinen von extremer Komplexität, deren Stückpreis über 150 Millionen US-Dollar liegt und die aus Tausenden präzisionsgefertigten Komponenten bestehen. Im Zentrum dieses Marktes steht ASML, der einzige Produzent von EUV-Lithografiewerkzeugen.
In einem Artikel am vergangenen Freitag haben wir einen visuellen Überblick von Branch Education vorgestellt, der den gesamten Herstellungsprozess von Mikrochips erklärt – vom Rohmaterial bis zum fertigen Produkt.
Diesmal zoomen wir deutlich tiefer hinein, denn in jedem Mikrochip befinden sich Transistoren und Leitungen im Nanometerbereich. Doch wie entstehen diese nanoskaligen Strukturen?
Das neue Video von Branch Education führt in das Innere eines EUV-Photolithografiesystems und zeigt, wie es tatsächlich wie ein „Fotokopierer“ für Mikrochips funktioniert – indem es das Maskenmuster mit 13-Nanometer-EUV-Licht auf einen Siliziumwafer projiziert.
