Anzeige
Anzeige
Anzeige
Anzeige
Anzeige
Anzeige
© photong dreamstime.com Komponenten | 10 April 2015

Revolutionäre MEMS-Drucksensoren

Scannano und LFoundry haben eine strategische Partnerschaft für den Einsatz der NANO-Technologien von Scannano vereinbart. Die erste Produktreihe bildet ein auf MEMS basierendes Drucksensoren-Portfolio.
Durch Nutzung von DVG-Verfahren (Deep Vacuum Gap) und Mikromembran-Nanotechnologien von Scannono bieten die neuen Drucksensoren eine hohe Präzision und Miniaturisierung mit geringerem Energieverbrauch und Multifunktionsfähigkeit. Daher können die Geräte zusammen mit „anwendungsspezifischen integrierten Schaltungen (Application-Specific Integrated Circuits, ASIC) im Rahmen standardisierter CMOS-Prozesse auf demselben Chip hergestellt werden.

Das DVG-Verfahren wird zur Erzeugung eines winzigen Vakuumspalts mit äußerst hoher Präzision von ca. 1 nm genutzt. Anschließend wird der Spalt mit einer Messmembran kombiniert, um den auf die Membran ausgeübten Druck zu messen. Da die Deformation in einer Größenordnung von lediglich wenigen Nanometern erfolgt, lassen sich mit einem einzigen nanodimensionalen Gerät hohe Präzisionsgrade erzielen und wegen des geringeren Energieverbrauchs zudem andere Systeme auf demselben Chip integrieren.

Anwendungen für die neuen Drucksensoren gibt es viele, darunter über 100 Systeme im Rahmen einer Vielzahl von Produkten im Automobil- und Industriesektor. Diese monolithische Integration auf einem einzigen Chip ermöglicht hochmoderne Designs mit standardisierten CMOS-Prozessen. Automobilanwendungen können Sicherheitssysteme einschließen, wie Kollisionserkennung und Reifendruckmessungen sowie Rückmeldungen von Antriebssystemen, etwa Ansaug- und Turboladerdruck-Messwerte. Bei Industrieanwendungen ist es möglich, Gaszufuhrsysteme, Füllstandsmeldegeräte, Höhenanpassungssysteme und Wetterstationen zu integrieren.

Designaktivitäten für Anwendungen wurden bereits eingeleitet. Die Fertigung wird in der italienischen Betriebsstätte von Foundry in Avezzano unweit von Rom erfolgen.

Kommentare

Kritische Kommentare sind erlaubt und auch erwünscht. Diskussionen sind willkommen. Beschimpfungen, Beleidigungen und rassistische / homophobe und verletzende Äusserungen sind nicht erlaubt und werden entfernt.
Weiterführende Erläuterungen finden Sie hier.
Weitere Nachrichten
2018.07.18 17:55 V10.0.0-2