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© photong dreamstime.com Komponenten | 10 April 2015

Revolutionäre MEMS-Drucksensoren

Scannano und LFoundry haben eine strategische Partnerschaft fĂŒr den Einsatz der NANO-Technologien von Scannano vereinbart. Die erste Produktreihe bildet ein auf MEMS basierendes Drucksensoren-Portfolio.
Durch Nutzung von DVG-Verfahren (Deep Vacuum Gap) und Mikromembran-Nanotechnologien von Scannono bieten die neuen Drucksensoren eine hohe PrĂ€zision und Miniaturisierung mit geringerem Energieverbrauch und MultifunktionsfĂ€higkeit. Daher können die GerĂ€te zusammen mit „anwendungsspezifischen integrierten Schaltungen (Application-Specific Integrated Circuits, ASIC) im Rahmen standardisierter CMOS-Prozesse auf demselben Chip hergestellt werden.

Das DVG-Verfahren wird zur Erzeugung eines winzigen Vakuumspalts mit Ă€ußerst hoher PrĂ€zision von ca. 1 nm genutzt. Anschließend wird der Spalt mit einer Messmembran kombiniert, um den auf die Membran ausgeĂŒbten Druck zu messen. Da die Deformation in einer GrĂ¶ĂŸenordnung von lediglich wenigen Nanometern erfolgt, lassen sich mit einem einzigen nanodimensionalen GerĂ€t hohe PrĂ€zisionsgrade erzielen und wegen des geringeren Energieverbrauchs zudem andere Systeme auf demselben Chip integrieren.

Anwendungen fĂŒr die neuen Drucksensoren gibt es viele, darunter ĂŒber 100 Systeme im Rahmen einer Vielzahl von Produkten im Automobil- und Industriesektor. Diese monolithische Integration auf einem einzigen Chip ermöglicht hochmoderne Designs mit standardisierten CMOS-Prozessen. Automobilanwendungen können Sicherheitssysteme einschließen, wie Kollisionserkennung und Reifendruckmessungen sowie RĂŒckmeldungen von Antriebssystemen, etwa Ansaug- und Turboladerdruck-Messwerte. Bei Industrieanwendungen ist es möglich, Gaszufuhrsysteme, FĂŒllstandsmeldegerĂ€te, Höhenanpassungssysteme und Wetterstationen zu integrieren.

DesignaktivitĂ€ten fĂŒr Anwendungen wurden bereits eingeleitet. Die Fertigung wird in der italienischen BetriebsstĂ€tte von Foundry in Avezzano unweit von Rom erfolgen.
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2019.01.17 14:20 V11.11.0-1