Aixtron liefert QXP-8300-Anlagen an Speicher-Hersteller

"Unser Kunde ist dafür bekannt, stets modernste Speichermodule für die Herstellung innovativer, leistungsstarker Bauelemente bereitzustellen. Selbstverständlich werden wir seine Pläne auch in Zukunft mit neuen Anwendungen und Materialsystemen für die anspruchsvollen Anforderungen zukünftiger Technologieknoten unterstützen“, erklärt Bill Bentinck, Vice President und General Manager von Aixtron Inc., USA. Die Strukturen von Bauelementen auf Basis von Siliziumhalbleitern bewegen sich heute zunehmend auf atomarer Ebene. Hersteller benötigen daher Technologien, mit denen sich präzise Schichten dielektrischer, metallischer und nicht-flüchtiger Speichermaterialien aufbringen lassen. Die QXP-8300 kombiniert die patentierte TriJet-Verdampfungstechnologie mit dem bewährten Close Coupled Showerhead-Prinzip und ermöglicht so den Einsatz von Ausgangsmaterialien mit niedrigem Dampfdruck, wie sie für einige Rezepte zur Herstellung von Ultra-High-K-Dielektrika und Metallnitriden für Speicher-Kondensatoren benötigt werden.