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© enruta dreamstime.com Komponenten | 04 Juni 2013

Experten der Halbleitertechnologie treffen sich in Aachen

Der traditionsreiche europäische Workshop zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (EWMOVPE) kehrt nach 26 Jahren nach Aachen zurück.
Vom 2. - 5. Juni 2013 diskutieren Physiker, Chemiker, Materialwissenschaftler und Ingenieure aus Forschung und Industrie im Technologiezentrum am Europaplatz (TZA) über neue Möglichkeiten in der Halbleitertechnik. Wissenschaftler aus der Region leisten seit mehr als drei Dekaden einen entscheidenden Beitrag zum weltweiten Erfolg dieser Technologie.

Ausrichter des Workshops sind die Forschungsallianz JARA (Jülich Aachen Research Alliance), das Peter Grünberg Institut 9 (Forschungszentrum Jülich) und das Lehr- und Forschungsgebiet GaN-Bauelementtechnologie (GaN-BET) der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule (RWTH) Aachen. Von Industrieseite wird die Veranstaltung vom Anlagenhersteller AIXTRON unterstützt. Das Unternehmen ging 1983 mit dieser Technologie als Spin-Off aus der RWTH Aachen hervor und hat sich mit der Entwicklung und Produktion von MOVPE-Anlagen nach eigenen Angaben zum Weltmarktführer auf diesem Gebiet entwickelt.

Ziel der viertägigen Tagung ist es, das Verständnis der Technologie zu verbessern und Ansätze für neue Materialverbindungen mit maßgeschneiderten physikalischen Eigenschaften zu entwickeln, insbesondere mit Blick auf energiesparende, „grüne“ Technologien.

„Ohne die Entwicklung des MOVPE-Verfahrens hätte es viele wichtige Fortschritte in der Nano- und Optoelektronik nicht gegeben", so Dr. Hilde Hardtdegen vom Forschungszentrum Jülich. „Auf diesem Verfahren basieren der optische Datentransfer, LEDs für die Beleuchtungstechnik sowie energieeffiziente elektronische und optoelektronische Bauelemente."

Die promovierte Chemikerin ist Gruppenleiterin für Gasphasenepitaxie in Jülich und seit 1998 Mitglied im Programmkomitee der EWMOVPE. Bereits in den siebziger Jahren hatte ihr Vater, Professor Pieter Balk, am Lehrstuhl für Halbleitertechnik an der RWTH die Gasphasenepitaxie intensiv weiterentwickelt und bis zur Industriereife gebracht. Er entwickelte nicht nur das Format einer europäischen Plattform zum Austausch zwischen Wissenschaft und Industrie, sondern organisierte auch 1987 den ersten europäischen EWMOVPE-Workshop in Aachen.

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